Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9352786 zu verkaufen

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ID: 9352786
System.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reaktor ist eine Mehrkammer-Abscheide- und Ätzanlage, die für schnelle, einheitliche und wiederholbare Prozesse in Serienanwendungen konzipiert ist. Dieses System verfügt über eine proprietäre modulare Prozesskammer, die auf Kompatibilität und Flexibilität mit bestehenden und zukünftigen Materialien ausgelegt ist. Es bietet auch eine Reihe von Ätz- und Abscheidelösungen mit erhöhter Gleichmäßigkeit und Prozesskontrolle. Der AKT Endura 5500 Reaktor ist eine einzigartig gestaltete Zweikammer-Trockenätzeinheit, wobei die erste Kammer eine abscheidungsähnliche und niederenergetische reaktive Ionenätzverarbeitung (RIE) und die zweite Kammer eine Ätzung und Abscheidung mit höheren Ätzraten ermöglicht. Diese Maschine ist mit einer Vielzahl verschiedener Materialien kompatibel, darunter Polysilizium, SiNx, a-Si: H, AlN und AlGaAs. Es ist gut geeignet für eine Vielzahl von Anwendungen wie LED-Display, MEMS, Nanotech, Mikrofluidik und Halbleiter. Der Reaktor AMAT ENDURA 5500 bietet mehrere vorteilhafte Möglichkeiten wie schnelles Hochfahren und überlegene Temperaturgleichmäßigkeit. Es bietet eine verbesserte Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit aufgrund seiner Mehrkammerarchitektur und Hochzustandsprozesskontrollmechanismen. Dieses Tool bietet auch erweiterte Überwachungsfunktionen, die ausgefeilte Toolsets verwenden, um direktes Feedback zu Wafer-Level-Bedingungen in Echtzeit zu liefern. Mit den Technologien Adaptive Process Control und Process Variance Control bietet es eine signifikante Verbesserung der Prozesssteuerung und Wafer-Einheitlichkeit. Darüber hinaus verfügt AMAT Endura 5500 über einen minimalen und reversiblen Materialverlust und kann das Ätzrezept für die Prozesskammer optimieren, was die Ätzgleichmäßigkeit maximiert. Endura 5500 Reaktor ist eine kostengünstige und benutzerfreundliche Anlage, die eine überlegene Ätz- und Abscheidungsleistung, verbesserte Einheitlichkeit und eine bessere Kontrolle über Prozessparameter bietet. Mit seinen fortschrittlichen Überwachungs- und Steuerungsfunktionen, der Kompatibilität mit verschiedenen Materialien und den volumenstarken Funktionen bietet APPLIED MATERIALS Endura 5500 eine umfassende Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen und Branchen.
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