Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293719859 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL ist ein Hochleistungs-Ätzplasma-Reaktor, der bei der Herstellung von Halbleitern und anderer Elektronik verwendet wird. AMAT Endura CL wurde entwickelt, um eine höhere Prozessflexibilität und einen überlegenen Durchsatz im Vergleich zu herkömmlichen Ätzplasma-Reaktoren zu bieten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura CL ist mit zwei Hochleistungs-Plasmaerzeugungsstufen ausgestattet, die Auflösungsraten von Wafermaterialien verbessern und schnellere Ätzzeiten ermöglichen. Endura CL kann bei Drücken bis zu 15mTorr arbeiten und ermöglicht eine Vielzahl von Prozessen. Zusätzlich ist der Reaktor vollautomatisch, so dass Benutzer Wafertemperatur, Druck und Plasmaparameter vom Kontrollraum aus steuern können. Der Reaktor wird mit einer speziellen zweistufigen Kusp-Plasmaquelle gebaut. Diese Konstruktion trägt dazu bei, einen stabilen und gleichmäßigen Plasmastrom bei niedrigen Drücken zu gewährleisten, was ein Schlüsselfaktor für die Ätzleistung ist. Die zweistufige Quelle trägt auch dazu bei, die chemische Ableitung und den Gasverbrauch zu reduzieren, die Kosten zu senken und eine saubere Arbeitsumgebung zu erhalten. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL ist in der Lage, mehrere Wafer gleichzeitig zu handhaben, mit einer gesamten verarbeitbaren Fläche von bis zu 193 cm2. Es ist auch in der Lage, eine Reihe von verschiedenen Wafergrößen zu handhaben, von 10 x 10mm bis 8 x 8 ". Mit dieser Funktion können Anwender den Durchsatz optimieren und die Effizienz steigern. AMAT Endura CL verfügt auch über ein fortschrittliches automatisiertes Robotersystem, mit dem Benutzer den Ätzprozess in Echtzeit überwachen können. Das System verwendet eine Reihe von Sensoren und Kameras, um die Ätzrate, Sicherheit und Qualität zu messen. Es kann auch alle Probleme im Prozess erkennen, alarmiert den Benutzer sofort, um weitere Schäden am Wafer zu verhindern. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS Endura CL ein leistungsfähiger und zuverlässiger Ätzplasma-Reaktor, der in der Lage ist, überlegene Leistung und Durchsatz zu bieten. Es ist auch einfach zu bedienen, mit einem vollautomatisierten System, das minimale Benutzereingriffe erfordert. Damit eignet sich Endura CL für Forschungslabore und Produktionsabläufe gleichermaßen.
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