Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293752793 zu verkaufen
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ID: 293752793
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
PVD Metal system, 12"
AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-08815 622000096-1 Endura CVCF
AMAT / APPLIED MATERIALS 0015-04420 DI Chiller
EFEM:
(3) AMAT / APPLIED MATERIALS 85-3000-0307-01 Load ports
YASKAWA XU-RCM6801 G28001-1-14 Handler robot
YASKAWA XU-CN1112A S2M988-5-02 Robot controller
YASKAWA XU-ACL4203 S13537-3-01 Ball screw
TERA TVC-1R-01 AB11110361 Remote controller
AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-05111 Control video switch
(3) MAXON 143849 DC Servo motors
(3) KG AUTO KGP-JD2G LED Lamps
MOELLER PKZM0-25 Thermal magnetic circuit breaker
TM:
AMAT / APPLIED MATERIALS DDM-005X-DN-AM3 9101-1999 Electrocraft servo drive
AMAT / APPLIED MATERIALS 404419R Enhanced HT Wrist
AMAT / APPLIED MATERIALS 404557R 0010-31156 Enhanced HT Wrist
AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-50505-002 13118101-203 Slit valve housing
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-22609 119503 Slit valve
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-1041-01R KSM-060206 Slit valve
GRANVILLE 354001 1559 Gauge controller
CTI 8113212G001 F0908552 On-board P300 Module
CTI 8113212G001 H1009443 On-board P300 Module
MDC AV-153-P 01-53564 Pneumatic angle valve
PANASONIC FX-300 Series Digital fiber optic sensor
NSK M-JSG014DN504 GJ6Y062 Mega torque motor
AMAT / APPLIED MATERIALS XBR-2310 AC Servo motor
Chamber 1:
CTI PG03.00 L05407998 On-board P300 Cryopump
CTI 8113212G001 B0908336 On-board P300 Module
AMAT / APPLIED MATERIALS CDS-099 400822-PJ-LCMD Lower chamber module
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09628 1096800
SPELLMAN X2784 41254-1-A01063 Power supply
AMAT / APPLIED MATERIALS 18902-13 400822-PJ-CCMD Controller
Chamber 2:
CTI 8116250G001 F03151808 On-board P300 Cryopump
CTI 8113212G001 E0807402 On-board P300 Module
8127303G001 Drive unit assembly P300
MDC AV-150M-P03 02-55365 Pneumatic angle valve
MKS Baratron 627A1TBD 821109 Pressure transducer
AMAT / APPLIED MATERIALS 0021-21164 11362101 Bracket, sensor, shutter
Chamber 3:
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-14529 3420304 PVD Source chamber top
AMAT / APPLIED MATERIALS MII-403-0606 404557-PJ-LCM1 300mm RPC Assembly
MKS Baratron 627A 1TBD 001057274 Pressure transducer
SMC 1082300 B11262002-29832 Valve supplier
R.T.LAIRD INC 188123 1-800-231-7983
SVF 0010-13532 300637-3103-31030004 Flow control
AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-00412 S03-36-19 Motor stepper assy
AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-06374 11362101 Motor stepper assy
MKS UHV-25-AKC-ENVN 0325476992 Angle valve
CORCOM F7299 EMI filter
Degas chamber (Chamber E):
CTI 8116273G001 1010CHE10707 On-board P300 Cryopump
CTI 8113212G001 C0908419 On-board P300 Module
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-21740 Assy TC amp
7018012 TC Gauge
Degas chamber (CH-F):
CTI 8116273G001 I05376835 On-board P300 Cryopump
CTI 8113212G001 C0908416 On-board P300 Module
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-21740 Assy TC amp
SMC&AMAT / APPLIED MATERIALS NCDQ2WB63-UIA97 0110 Pneumatic cylinder
SMC&AMAT / APPLIED MATERIALS NCDQ2B80-UIA990939 3020-01052 Pneumatic cylinder
SMC&AMAT / APPLIED MATERIALS 944AOPLPNCSFSFF 42600719 Pneumatic cylinder
SMC&AMAT / APPLIED MATERIALS NCDQ2WB63-UIA97 939 Pneumatic cylinder
SMC&AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-76520 300351-333-0023 Pneumatic cylinder lift assembly
CTI 8112030G002 Roughing valve
Diaphragm valve
8127082-G001 Purge valve
Generator rack:
ENI 0190-19810 DCG-400Z-0J Master DC Power supply
ENI 0190-07969 DCG-200Z-S0J Slave DC Power supply
ENI 0190-09832 GHW12Z-13DF2N0-001 RF Generator
CVCF:
Eaton MDL3800F 4203B99G03 Circuit breaker
AMAT / APPLIED MATERIALS 400822-PJ-PROJ 0190-06075 Load center
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL ist ein hochmoderner metallischer chemischer Dampfabscheidungsreaktor (MOCVD), der eine hervorragende Leistung für eine Vielzahl von Verbundhalbleiterfolien (CS) und Bauelementschichten bietet. AMAT Endura CL Ausrüstung ist der modernste MOCVD Reaktor verfügbar und bietet die höchste Qualität Verbundhalbleiterfolie Abscheidung zur Verfügung. CL-System von APPLIED MATERIALS ENDURA wird konstruiert, um dem Äußersten in der einheitlichen Filmdicke, mit der Präzision Schicht-für-Schicht-Dickekontrolle und Gleichförmigkeit der Absetzungsqualität über die komplette Oblatenoberfläche zu liefern. Der Reaktor ist gut entwickelt, um eine exzellente Steuerung des Vorläufermaterialflusses mit ausgeklügelter Strömungscharakterisierung zu ermöglichen, einschließlich Turbo-Mischen, niedrige Strömungsgeschwindigkeiten und Niederdruckvorläufer-Lieferung. Der Reaktor verfügt zudem über eine hohe Leistungsfähigkeit für eine hohe Durchsatzproduktion und die Fähigkeit, Prozessbedingungen schnell anzupassen, um die gewünschten Materialeigenschaften zu erreichen. Der Endura CL-Reaktor verwendet eine vertikale Abscheidekammer, die eine gleichmäßige Vorverteilung über alle Wafer und einen vertikalen Fluchtweg während der Abscheidung gewährleistet, der die Eliminierung aller Reaktionsnebenprodukte fördert. Dieses fortschrittliche Design ermöglicht eine effiziente Abscheidung von Material unter Beibehaltung der höchsten lokalen Qualität. Der Reaktor verfügt auch über einen beheizten Suszeptor, um eine gleichmäßige Wafertemperatur zu fördern und Steigerungen des Materialwiderstandes aufgrund von Temperaturschwankungen zu reduzieren. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL Reaktor verfügt auch über eine Kombination aus einheitlichen Abscheideraten, Temperaturregelung und Prozesskontrolle Fähigkeiten. AMAT Endura CL verfügt über eine numerisch gesteuerte Betätigungseinheit, die eine benutzerfreundliche Schnittstelle zur Programmierung von Prozessparametern und Optimierung bietet. Eine fortschrittliche elektrochemische Sensormaschine wird verwendet, um eine ständige Überwachung der Prozessbedingungen zu ermöglichen, um höchste Qualitätsergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus nutzt der Endura CL-Reaktor APPLIED MATERIALS eine Hochspannungsversorgung, um seine elektrischen Teilsysteme zur Reduzierung des Stromverbrauchs und damit der Kosten zu versorgen. Insgesamt ist Endura CL ein fortschrittlicher MOCVD-Reaktor, der entwickelt wurde, um Anwendern die höchste Qualität der Filmabscheidung für Verbundhalbleiterfilme und Bauelementschichten zu bieten. Mit seinem fortschrittlichen Design, der schichtweisen Dickenkontrolle und der hohen Leistungsfähigkeit ist der Endura CL-Reaktor von AMAT/APPLIED MATERIALS das perfekte Werkzeug für diejenigen, die ausgezeichnete einheitliche Filmeigenschaften und Prozesskontrolle in ihren Abscheidungsanwendungen suchen.
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