Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293757041 zu verkaufen
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ID: 293757041
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
PVD System, 12"
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL ist ein Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reaktor, der eine High-End, High-Performance-Abscheidung Ausrüstung ist. Dieses System wurde entwickelt, um dünne Filme in der Halbleiter- und anderen Industrien zu produzieren. Es handelt sich um eine substratbasierte Aufdampftechnologie, die typischerweise verwendet wird, um Oxid, Nitrid, Polysilizium, Metall und andere Halbleitermaterialien für eine Reihe von Anwendungen abzuscheiden. AMAT Endura CL verwendet einen thermischen Verdampfer mit einem doppelten Längsmagnetron und ist mit einer niederdruckkapazitiv gekoppelten Plasmaquelle (CPL) ausgestattet, um eine atomare Schichtabscheidung (ALD) und andere Anwendungen zur Präzisionsabscheidung zu ermöglichen. Die Einheit verfügt außerdem über eine subatmosphärische Kaltwandkammer zur Abscheidung im Temperaturbereich von 100 ° C und 300 ° C zur Erhöhung der Abscheiderate unter Beibehaltung einer niedrigen Substrattemperatur. Durch seinen zweistufigen Prozess hat APPLIED MATERIALS Endura CL die Fähigkeit, eine Vielzahl komplexer Strukturen wie Heterostrukturen, maßgeschneiderte Dickengeometrien und interne Spannungsgradienten zu schaffen. Mit dieser Fähigkeit sind Kunden in der Lage, CPL und ALD in einem einzigen Reaktor für optimale Leistung zu koppeln. Die Maschine bietet auch ein automatisiertes Steuerwerkzeug, um Rezepte zu vereinfachen und den Optimierungsprozess zu entspannen und gleichzeitig eine hohe Wiederholbarkeit der Abscheidung zu erreichen. Mit ausgeklügelten integrierten Software- und Hardwarefunktionen wurde das Asset entwickelt, um Benutzerfreundlichkeit und Ertragsverbesserungen zu erleichtern. Darüber hinaus übernimmt ein integriertes Diagnosemodell präventive Wartungsarbeiten, um Ausfallzeiten zu reduzieren und unnötige Serviceanforderungen zu vermeiden. Endura CL wurde entwickelt, um die Produktivität, Ausrüstungszuverlässigkeit und Prozessflexibilität für die Produktionsanforderungen der Kunden in der Halbleiterindustrie zu erhöhen. Die Integration der beiden Abscheidungstechnologien hilft Kunden, die Markteinführungszeit für ihre Produkte zu reduzieren, indem sie die Parameter zweier unterschiedlicher Abscheidungstechniken kombinieren, optimieren und steuern. Darüber hinaus können Kunden durch AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL von hohem Durchsatz und geringen Betriebskosten profitieren.
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