Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293821498 zu verkaufen
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ID: 293821498
Weinlese: 2002
PVD System
(2) Chambers, Ti/TiN
(2) Chambers, Al
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL ist ein kostengünstiger, zuverlässiger Halbleiterreaktor für mehrere Prozesse. Es wurde für die Verarbeitung von Wafern von bis zu 300mm (12 Zoll) konzipiert. Es verwendet einen plasmaverbesserten chemischen Dampfabscheidungsprozess (PECVD), um dünne Schichten zwischen 10 und 400 nm dick abzuscheiden. AMAT Endura CL ist mit einem VTS (Volumetric Temperature Skeleton) ausgestattet, das aus einem flachen verstärkten Aluminiumoxidrand besteht. Diese ist so konzipiert, dass sie hohen Temperaturen standhält und die Wärmeleistung optimiert. Der VTS ist in der Lage, schnell in der Temperatur zu zyklieren, wodurch die CVD-Qualität verbessert und der Schichtgradient der verschiedenen Schichten reduziert wird. Darüber hinaus ist APPLIED MATERIALS Endura CL speziell entwickelt, um die Umweltbelastung des Prozesses zu reduzieren. Dies geschieht, indem der Gasverbrauch gesenkt wird und flüssige reaktive Gase (LRGs) entfallen. Sein Gas-Handling-System gewährleistet die genaue Überwachung und Steuerung der Strömung und Reinheit des im Abscheidungsprozess verwendeten Gases. Endura CL wurde im Silizium-Wafer-Bereich der Halbleiterherstellung prototypisiert, wo es sich als zuverlässiges und genaues Werkzeug bei der Herstellung großer Chargen von Wafern erwies. Es hat zahlreiche Verbesserungen erfahren, um die Leistung zu optimieren und die Kosten und die Zeiteffizienz der Produktion zu ermöglichen. Neben der effizienten Gasproduktion ist AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL sehr einfach zu bedienen und zu warten. Es ist mit intuitiver Software ausgestattet, mit der Benutzer die Konfiguration für mehrere Prozessabläufe schnell und konsistent einrichten können. Es verfügt auch über ein intelligentes Prozessleitsystem, das Feedback für eine genaue Prozessüberwachung schafft und so Ausfallzeiten reduziert. Darüber hinaus ist AMAT Endura CL mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen gebaut, um die Exposition gegenüber gefährlichen Chemikalien zu reduzieren. Sie entspricht den Sicherheitsanforderungen der NFPA 70E NFPA und der EU-Richtlinie ATEX 95 über gefährliche Stoffe. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura CL wurde entwickelt, um Kosten zu senken und gleichzeitig die Produktivität und Kundenzufriedenheit zu erhöhen. Seine verbesserten Eigenschaften machen ihn zum idealen Reaktor für die Halbleiterherstellung.
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