Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9200110 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL
ID: 9200110
Wafergröße: 12"
PVD System, 12" (2) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL ist ein fortschrittlicher physikalischer Aufdampfreaktor (PVD) auf Siliziumbasis, der üblicherweise bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es wurde entwickelt, um fortschrittliche Abscheideverarbeitungstechniken in der Hochserienproduktion zu ermöglichen. Der AMAT Endura CL PVD Reaktor ist modular aufgebaut und bietet eine hervorragende Flexibilität für eine breite Prozessintegration. Die frontbeladene, kammerbasierte Architektur kann eine Vielzahl von Werkzeugkomponenten problemlos aufnehmen. Dies ermöglicht Anwendern einfachen Zugriff und Wartung bei gleichzeitiger individueller Anpassung und ermöglicht eine erweiterte Prozessintegration auf einer einzigen Plattform. Der Reaktor verwendet fortschrittliche Techniken, um die Abscheidung von höchster Qualität auf einer Reihe von Substraten zu ermöglichen. Der Reaktor verwendet eine Reihe von Prozessgasen, einschließlich hochreaktiver Organosilane, um ultradünne Filme mit enger Kontrolle der Filmstruktur und Gleichmäßigkeit zu ermöglichen. Bei höheren Temperaturen können höhere Abscheideraten und noch dichtere Folien erhalten werden. Darüber hinaus ist der Reaktor in der Lage, schnell Substrat Heizung und Kühlung, die schnelle Umlaufzeiten für die Produktion ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura CL Reaktor hat eine Reihe von fortschrittlichen Materialhandhabung und Abfallwirtschaft Funktionen. Materialien werden in der Nähe der Spitze des Reaktors geladen und dann durch eine Reihe von Roboterarmen durch das System bewegt. Die Abfallwirtschaft wird durch ein geschlossenes Materialrecyclingsystem verwaltet, das einen kontaminationsfreien Betrieb und höhere Erträge ermöglicht. Das Reaktordesign ermöglicht auch eine exzellente Prozesssteuerung mit präziser Kontrolle über Temperatur, Druck, Gasstrom und Druckbehälter. Mit fortschrittlicher Kontrolle über diese Parameter können Anwender strenge Qualitätsanforderungen und eine höhere Einheitlichkeit über eine Reihe von Substraten erreichen. Insgesamt ist Endura CL ein fortschrittlicher PVD-Reaktor, der für die Hochserienproduktion auf Siliziumbasis entwickelt wurde. Es bietet Anwendern ausgezeichnete Flexibilität für eine breite Palette von Prozessintegration anpassen, so dass fortschrittliche Abscheidungstechniken mit schnellen Durchlaufzeiten und hohen Erträgen ermöglicht. Mit präzisen Prozesskontrollparametern und fortschrittlicher Materialhandhabung und Abfallwirtschaft können Anwender eine ausgezeichnete Folieneinheitlichkeit über eine Reihe von Substraten erreichen.
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