Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9236845 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL ist eine Art chemischer Reaktor, der in der Halbleiterindustrie zur Verarbeitung und Herstellung von Dünnschichtstrukturen verwendet wird. Es wird für die chemische Dampfabscheidung (CVD), atomare Schichtabscheidung (ALD) und plasmaverbesserte Abscheidung (PED) von Materialien verwendet, um Filme zu erzeugen. Der Reaktor ist für hohe Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt. AMAT Endura CL verfügt über ein anpassbares Duschkopf-Source-Design mit programmierbarem Shutter-Array. Dies ermöglicht eine gleichmäßige und wiederholbare Abscheidung von Folien auf großflächigen Substraten. Das Quelldesign wurde ebenfalls optimiert, um die Nebenproduktbildung zu minimieren und hohe Ausbeuten zu gewährleisten. Die Kammer ist so konzipiert, dass schnelle thermische Hoch- und Abkühlzeiten möglich sind, wodurch der Abscheideprozess schnell und effizient abgeschlossen werden kann. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura CL-Reaktor verwendet eine robuste Prozesssteuerung, die eine automatisierte Steuerung der Prozessparameter ermöglicht. Dies ermöglicht die genaue Regelung der Temperatur-, Druck- und Gasströmungsgeschwindigkeiten während des Abscheideprozesses. Das System unterstützt auch die Flexibilität bei der Verwendung von bis zu drei Vorläufergasen und zwei Reaktionsgasen im Prozess. Dadurch kann die Chemie der Folie auf spezifische Anwendungsanforderungen abgestimmt werden. Endura CL verfügt auch über einen in-situ Plasmagenerator, der für wiederholbare Plasmaätzprozesse ausgelegt ist. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätzvorgangs und kann helfen, die Hinterschnittmenge während des Abscheideprozesses zu reduzieren. Die Anlage unterstützt auch das Ätzen verschiedener Materialien, darunter Metalle, Oxide, Nitride und andere Halbleiter. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL ist für eine einfache Wartung ausgelegt. Die Maschinenkammer verfügt über eine Konstruktion, die eine einfache Entfernung der Quelle und der Bodenplattenkomponenten ermöglicht. Dies ermöglicht einen schnellen Zugriff auf die Innenkomponenten des Werkzeugs und ermöglicht schnelle und effiziente Wartungsarbeiten. Das Asset verfügt außerdem über ein fortschrittliches Diagnosemodell, das eine schnelle Diagnose von Fehlern ermöglicht und ungeplante Ausfallzeiten verhindert. Abschließend ist AMAT Endura CL ein chemischer Reaktor zur Abscheidung dünner Filme für Halbleiteranwendungen. Die Ausrüstung ist für hohe Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt, mit automatisierter Prozesssteuerung und schneller Rampe und Abkühlzeiten. Darüber hinaus verfügt das System über Plasmaätzfähigkeiten und eine robuste Diagnoseeinheit, die einen zuverlässigen Betrieb gewährleistet.