Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9237267 zu verkaufen
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ID: 9237267
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
System, 12", parts machine
EFEM: 2-Ports and KENSINGTON
DEGAS
PCII
Gen rack
Compressor
(2) AC Racks
Missing parts:
VHP Robot
Cable
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL Reaktionsausrüstung ist ein effizienter und zuverlässiger Hochdurchsatzreaktor, der es Kunden ermöglicht, Prozesse und Materialeigenschaften zu optimieren. AMAT Endura CL ist eine fortschrittliche, automatisierte Niederdruck-Dämpfungslösung (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition, LPCVD), die eine kostengünstige Herstellung präziser Inline-Mehrschichtfolien ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura CL ist ein vertikales, Bottom-up-Abscheidungssystem, das ein oder zwei Ziele gleichzeitig mit bis zu 300mm Wafern pro Lauf verarbeitet. Es verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche mit einem intuitiven Arbeitstisch, mit dem Benutzer einen Wafer einfach zwischen Verarbeitungsplattformen übertragen und schnell auf Produktparameter zugreifen können. Endura CL wurde entwickelt, um bei kurzen Zykluszeiten hohe Ausbeuten zu erzielen und bei Temperaturen bis 800 ° C verschiedene Folien gleichzeitig verarbeiten zu können. Der fortschrittliche Regler überwacht Temperatur, Prozessgasdurchsätze und Druckeinstellung zur präzisen Steuerung von Prozessbedingungen mit wiederholbaren und konsistenten Ergebnissen - auch bei der Verarbeitung mehrerer Chargen. Die Kammer ist mit einem vollautomatischen HF-Match-Netzwerk ausgestattet, das eine optimale Plasmagleichförmigkeit für eine verbesserte Prozesssteuerung und -ausbeute gewährleistet. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL ermöglicht es Anwendern, komplexe und präzise Mehrschichtfolien mit hoher Konsistenz und Wiederholbarkeit zu produzieren. Die Einheit kann eine Reihe von Filmen mit hoher Dichte abscheiden, die typischerweise in Halbleiter- und Display-Backplane-Anwendungen verwendet werden, einschließlich Antireflexion, Passivierung, p-Spacer, Barriere und Metallfolien. AMAT Endura CL umfasst auch fortschrittliche Diagnosetools wie die Echtzeit-Endpunktüberwachungsmaschine (REMS) und Advanced Uniformity Mapping (AUM), um Anwendern zu helfen, Prozessparameter schnell anzupassen und Produktionserträge zu optimieren. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura CL ist ein benutzerfreundliches, vielseitiges Reaktionswerkzeug, das den sich ändernden Anforderungen der fortschrittlichen Fertigungsindustrie gerecht wird. Es ist eine zuverlässige und kostengünstige Möglichkeit, präzise Mehrschichtfolien mit konsistenten und wiederholbaren Ergebnissen herzustellen.
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