Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9247978 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL ist ein Hochdurchsatz-Cluster-Reaktor, der für Anwendungen mit hohem Volumen, Präzisionsätzen und Abscheidungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Der AMAT Endura CL Reaktor kann sowohl hohe Seitenverhältnisse (HAR) als auch komplexe Strukturen in einem einzigen Schritt verarbeiten. Es ist mit einem integrierten Clustersystem bestehend aus zwei Bearbeitungskammern, zwei Lastschlössern, einer Vorverarbeitungskammer und einer Nachbearbeitungskammer ausgestattet. Die erste Bearbeitungskammer von APPLIED MATERIALS Endura CL ist eine hochdichte Plasmaätzkammer. Es hat ein Vier-Elektroden, 13,56 MHz HF-Plasmasystem kompatibel mit Wasserstoff, Chlor und Fluor-basierte Chemie. Die Kammer verfügt außerdem über einen Diffusionsduschkopf für gleichmäßige Plasmaverteilung, Massenstromregler (MFCs) für die Gasdurchflussregelung und eine Turbopumpe für Abgase. Die zweite Bearbeitungskammer der Endura CL ist eine Hochgeschwindigkeitsabscheidekammer, die mit einer zweispuligen planaren Spulenquelle ausgebildet ist. Diese Mehrkammertechnologie ermöglicht die Verarbeitung kleiner HAR-Strukturen (High Aspect Ratio) sowie komplexer Strukturen mit demselben Werkzeug. Die Kammer verfügt außerdem über HF- und DC-Netzteile für die Prozesssteuerung, eine Diffusionsdusche für Gleichmäßigkeit und einen integrierten Wäscher für Überätzen. Die Vorverarbeitungskammer dient der Vorreinigung von Substraten vor der Verarbeitung und die Nachverarbeitungskammer dient dem Schutz der Vorrichtung vor Verschmutzung und der Vermeidung unerwünschter Materialabscheidung. Die Nachbearbeitungskammer ist mit Ionenpumpen und einer integrierten Waschmöglichkeit zum Spülen und Reinigen nach dem Ätzen ausgestattet. Die Lastschlösser von AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL sind mit einem automatisierten Flexroboter ausgelegt und sorgen für schnelle, geringe Partikelbeladungs- und Entladevorgänge. Der Roboter ist mit den Werkzeugsätzen konform, um einen reibungslosen Betrieb zu gewährleisten und Partikel zu minimieren. AMAT Endura CL ist für die Serienfertigung konzipiert und verfügt über ein 24-Stunden-Fernüberwachungssystem zur Online-Wartung und -Überwachung. Der Reaktor ist ideal für die Herstellung von MEMS, integrierten Schaltkreisprodukten und Dünnschichtgeräten. Es ist ein effizientes Mehrkammer-Ätz- und Abscheidungswerkzeug mit der Fähigkeit, eine breite Palette von Substraten, Geometrien, Materialien und Prozessen zu verarbeiten.