Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9251713 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL
ID: 9251713
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
PVD System, 12" 2003 vintage.
Endura CL ist ein fortgeschrittener Abscheidungsreaktor, der zur Abscheidung einer Vielzahl von dünnen Schichten aus Metallen und komplexen organischen Verbindungen verwendet wird. Es ist mit einer integrierten Kammerkonstruktion ausgestattet, was für die Anwendungen, für die es ausgelegt ist, sehr vorteilhaft ist. AMAT Endura CL verwendet eine einzigartige Prozesskammer, die die Verwendung mehrerer Offsets ermöglicht, um eine optimale Gleichmäßigkeit und Genauigkeit der Abscheidungsraten über das Substrat zu gewährleisten. Die Prozesskammer ist vollständig mit einem Glasdeckel umschlossen und bietet eine gleichmäßige und kontaminationsfreie Umgebung. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura CL verfügt über mehrere fortschrittliche Funktionen, einschließlich einer Hochtemperatur-Prozessfähigkeit, die eine Abscheidung bei bis zu 1000 ° C ermöglicht. Dies ermöglicht eine höhere Abscheidungstemperatur, Gleichmäßigkeit, Schichtdicke und Geschwindigkeitsregelung sowie eine verbesserte Schrittabdeckung und einen verbesserten Durchsatz. Darüber hinaus verfügt Endura CL über innovative und anwenderprogrammierbare erweiterte Abscheidungsrezepte, die eine komplexe Dicke in einem einzigen Zyklus ermöglichen. Darüber hinaus ist AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL in der Lage, mehrere Rezepte gleichzeitig laufen, so dass die Abscheidung von mehreren Schichten von Materialien unterschiedlicher Dicke in einem einzigen Zyklus. Dies reduziert den Bedarf an zusätzlichen Verarbeitungsschritten und kann die Abscheidezeit erheblich verkürzen. AMAT Endura CL ist mit einer Atomstrahlquelle zur verbesserten Abscheidungssteuerung ausgestattet, die ein gleichmäßiges epitaktisches Wachstum und eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung über dem Substrat gewährleistet. Es verwendet auch eine mehrzonige hydrodynamische Adressiereinrichtung, die eine gleichmäßige Gasverteilung über die gesamte Prozesskammer ermöglicht. Dies verbessert die Effizienz, Wiederholbarkeit und Produktivität des Systems. APPLIKATIONSMATERIALIEN Endura CL wurde mit einer niedrigen Abscheidegeschwindigkeit entwickelt, wodurch Schichten mit einer Dicke von wenigen Nanometern abgeschieden werden können. Zusammenfassend ist Endura CL ein fortschrittlicher Abscheidungsreaktor, der eine überlegene Präzision, Gleichmäßigkeit und Genauigkeit der Abscheidungsraten für eine Reihe von Materialien bietet. Es verfügt über eine einzigartige Prozesskammer, Hochtemperaturfähigkeiten, Atomstrahlquelle und Mehrzonen-hydrodynamische Adressierungseinheit. Die Maschine kann für komplexe Mehrzyklusabscheidungen programmiert werden und ist in der Lage, Abscheideraten bis zu wenigen Nanometern zu steuern. Damit ist AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL eine ideale Wahl für nanoskalige Filmabscheidungen und die präzise Steuerung von Prozessparametern.
Es liegen noch keine Bewertungen vor