Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9271325 zu verkaufen
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ID: 9271325
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
PVD System, 12"
Process: CH-1_Ti / CH-2_AL / CH-3_AL / CH-E&F_Degas
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL ist eine fortschrittliche Clamshell-Reaktorausrüstung, die speziell entwickelt wurde, um nanoelektronische Materialien mit hoher Konformität und Einheitlichkeit abzulegen. Die Kammerkonstruktion auf AMAT Endura CL verfügt über eine ätzfeste Keramikkonstruktion, um überlegene Prozessergebnisse zu gewährleisten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura CL-System ist mit Vakuumtechnologie ausgestattet, die eine maximale Abdeckung von Wafern durch verbesserte Konvektion ermöglicht. Es verfügt über eine Wärmeübertragungseinheit auf Förderbasis, um eine genaue Temperaturgleichförmigkeit über die Substratoberflächen zu gewährleisten. Darüber hinaus sorgt sein niedriger Wasserdampfdruck-Vakuum für hohen Durchsatz und geringe Partikelprobleme an der Grenzfläche. Das Design von Endura CL unterstützt eine Vielzahl verschiedener Prozesstechniken, darunter schnelle thermische Verarbeitung (RTP) sowie elektrochemische Abscheidung (ECD) und Molekularstrahl-Epitaxie (MBE). Es ist in der Lage, Hochtemperaturverarbeitung bis zu 1.200 ° C mit einer Chlorgasumgebung von bis zu 1,300℃. Endura CL ist auch in der Lage, Kristallisation, Oxidfilmabscheidung, Nitridabscheidung und ohmsche Kontaktanwendungen zu unterstützen. AMAT Endura CL ist der branchenweit fortschrittlichste Niederdruck-Reaktor für die chemische Dampfabscheidung (LPCVD) mit einem hochgradig anpassbaren Design, mit dem kundenspezifische Werkzeuge darauf aufgebaut werden können. Es verfügt über eine intuitive Steuerungssoftware, mit der kundenspezifische Rezepte erstellt werden können, um einen optimalen Prozessdurchsatz und -ertrag zu erzielen. Der Reaktor kann für eine Vielzahl von Folienanwendungen verwendet werden, einschließlich Verbindungsschichten, Interlevel-Dielektrikum (ILD), Barriere- und Diffusionsschichten und Passivierungsschichten. Sein Design gibt ihm die Flexibilität, eine breite Palette von Materialien wie Silizium-Germanium, Germanium, Galliumarsenid, Nitrid und polykristalline Siliziumfolien zu handhaben. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura CL Maschine ist speziell entwickelt, um Wafer bis 200 mm Durchmesser zu verarbeiten. Es bietet auch ein Inline-Prozess-Monitoring-Tool (PST) sowie ein Endpunkt-Control-Asset, das Anwendern hilft, den Ertrag zu maximieren und die Gesamtprozessleistung zu optimieren. Abschließend ist Endura CL ein leistungsstarkes Clamshell-Reaktormodell, das überlegene Konformität und Einheitlichkeit für die Abscheidung von nanoelektronischen Materialien bietet. Der Reaktor ist mit einer Vielzahl fortschrittlicher Funktionen ausgestattet und kann vollständig an die Bedürfnisse des Kunden angepasst werden. Es ist auch in der Lage, eine breite Palette von Materialien und Anwendungen mit seiner Hochtemperaturbearbeitung und anpassbaren Werkzeugdesign zu handhaben.
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