Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9275824 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL (Cluster Reactor) ist ein hochmodernes CVD-Clusterwerkzeug (Chemical Vapor Deposition), das in der Halbleiterindustrie für die fortschrittliche Waferbearbeitung verwendet wird. Mit seinem patentierten Design bietet AMAT Endura CL eine schnelle, einheitliche und zuverlässige Waferbearbeitung bei geringer Partikelbildung. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura CL ist sowohl für thermische als auch plasmaunterstützte CVD-Prozesse sowie Ätz- und Ascheprozesse geeignet. Diese Flexibilität ermöglicht die Verwendung der Geräte für mehrere Waferbearbeitungsschritte. Der Reaktor hat eine vertikale 7-Kammer-Ausführung und ist mit einem automatisierten Wafer-Handling-System ausgestattet. Die Hauptkammer hat eine Höhe von 6 Metern und einen Durchmesser von 1,2 Metern und eignet sich somit perfekt für die gleichmäßige Verarbeitung von großen und kleinen Wafern. Die Kammer kann bis zu 8-Zoll-Wafer mit einer maximalen Kapazität von 200 Waferschichten aufnehmen. Die Kammer ist für die chemische konforme Abscheidung ausgelegt und sowohl mit pulverförmigen als auch mit flüssigen Vorstufen kompatibel. Die Konstruktion der Kammer umfasst eine Reihe von komplizierten Quarzeinsätzen und Abdeckungen, um Waferkratzen und Partikelbildung zu verhindern. Endura CL wurde entwickelt, um schnelle Verarbeitungsgeschwindigkeiten von bis zu 500 Wafern pro Stunde bereitzustellen und kann hohe Durchsätze bei geringem Stromverbrauch und ohne kostspielige Wartung erreichen. Die Prozesskammer ist vollständig abgedichtet und unter Druck gesetzt, um Verunreinigungen zu verhindern und die Partikelbildung auf ein Minimum zu beschränken. Der Reaktor verfügt über eine einstellbare Gasstromregel- und Temperaturregeleinheit, die es dem Anwender ermöglicht, die Bedingungen des Abscheideprozesses einzustellen. Die Maschine ist auch mit einer fortschrittlichen Plasmaquelle und einem Controller zur präzisen Kontrolle der plasmaunterstützten Ätz- und Ascheprozessbedingungen ausgestattet. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL ist nach höchsten Qualitätsstandards gebaut und garantiert wiederholbare Prozessleistung. Es wurde entwickelt, um die Anforderungen der modernsten Wafer Herstellungsprozesse zu erfüllen, so dass es ideal für den Einsatz in Produktionsumgebungen. Es ist mit den neuesten Sicherheitsmerkmalen und Alarmen ausgestattet, um einen sicheren und effizienten Betrieb auf kontinuierlicher Basis zu gewährleisten.