Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9281524 zu verkaufen

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ID: 9281524
Wafergröße: 12
PVD System, 12" Chamber: Degas.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL Reactor ist ein hochentwickeltes Cluster-Tool, das speziell für die Fertigung fortschrittlicher mikroelektronischer Geräte entwickelt wurde. Dieser Reaktor verwendet ein skalierbares Clustersystem, das Kunden Flexibilität und Verbesserungsfähigkeit für mehr Geräteleistung bietet. AMAT Endura CL Reactor verwendet eine Reihe von großartigen Funktionen wie die Sub-Stride-Chamber (SSC) -Technologie, die drastische Reduktionen bei Wafer-zu-Wafer-Ladefehlern ermöglicht. Diese Technologie basiert auf dem Einsatz eines kostengünstigen, wartungsarmen, wenig statischen Kammerfüllprozesses. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura CL Reaktor nutzt auch programmierte Abscheidung (PD) Funktion. Dieses Merkmal gewährleistet eine gleichmäßige Abscheidung bestimmter Schichten und ermöglicht sowohl eine Monoschicht als auch eine digitalisierte Abscheidung von bis zu vier Schichten. Dies ermöglicht schnellere, genauere Ablagerungen. Endura CL Reactor bietet auch eine einzigartige Plasma Edge Isolation (PEI) Technologie Funktion für verbesserte Geräteleistung. Diese Funktion hilft, Geräteleckagen zu minimieren, die Ätzraten zu erhöhen und eine reibungslosere Ablagerung zu ermöglichen. Zusätzlich ist dieser Reaktor mit fortschrittlichen In-situ Endpointing (EP) und Film Quality Sensing (FQS) Fähigkeiten für optimale, Echtzeit-Ätz- und Dep-Ergebnisse ausgestattet. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL Reactor ist auch für branchenführende Prozessgleichförmigkeit und robuste Prozesskontrolle konzipiert. Dies wird durch die Verwendung einer ineinandergreifenden, dynamischen Vierzonen-Spurheizung und In-situ-Endpunktdetektion erreicht, die eine genaue Dosis- und Temperaturregelung ermöglicht. AMAT Endura CL Reactor ist auch mit einem branchenführenden Wafer-Handling-System gebaut, um hohen Durchsatz, schnellen Zugriff, geringe Kontamination und einfache Wartung zu unterstützen. Der Reaktor ist so konzipiert, dass er eine schnelle Abkühl- und Aufwärmzeit bietet, die eine schnelle Substratumstellung und einen hervorragenden Wafer-zu-Wafer-Durchsatz ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura CL Reactor liefert optimale Leistung und Energieeffizienz für die fortschrittliche Mikroelektronik-Herstellung. Die integrierten Eigenschaften dieses Reaktors in Kombination mit hochrangigen Prozesssteuerungsfähigkeiten ermöglichen die zuverlässigste und effizienteste Herstellung von Submikron-Mikrochips und anderen komplizierten Gerätestrukturen.
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