Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9281539 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL-Ausrüstung ist ein Single-Wafer-Prozesswerkzeug, das für die Herstellung von erweiterten integrierten Schaltkreisen (IC) entwickelt wurde. Das System wurde entwickelt, um eine ideale Kombination aus Funktionen, Technologie, Qualität und Zuverlässigkeit zu bieten und gleichzeitig eine kostengünstige Herstellung von großflächigen Wafern zu ermöglichen. Es enthält einen fortschrittlichen Controller, der automatische und manuelle Prozessoptimierungsfunktionen bietet, um Zykluszeiten zu minimieren und Benutzereingriffe zu minimieren. Die AMAT Endura CL-Einheit kombiniert mehrere verschiedene Standard-Prozesskammern mit der neuesten Plasmaquellentechnologie und basiert auf einer fortschrittlichen plasmaverbesserten PECVD-Plattform (Chemical Vapor Deposition). Die Maschine verwendet hocheffiziente induktiv gekoppelte Plasmaquellen (ICP), um ein gleichmäßiges, homogenes Plasma in der Kammer zu erzeugen und ein konsistentes Prozessfenster von Wafer zu Wafer zu schaffen. Dies ermöglicht eine wiederholbare Prozesssteuerung, die für Ausbeute und Zuverlässigkeit Verbesserungen in der fortschrittlichen Fertigung entscheidend ist. Darüber hinaus verwendet APPLIKATIONSMATERIALIEN Endura CL-Werkzeug eine Hochvakuum-Sputterquelle zur Dünnschichtabscheidung, zur Beseitigung von Verunreinigungen und zur Gewährleistung hochwertiger Prozessergebnisse. Das Asset ist für eine Vielzahl von Prozessanforderungen ausgelegt. Es unterstützt bis zu sechs Prozessmodule und kann Tests in einer Reinraum- oder Klasse-1-Umgebung verarbeiten. Es ist auch in der Lage, „on the fly“ Überwachung und Steuerung des Prozesses zu produzieren, für optimale Ergebnisse. Die zeitliche und räumliche Gleichmäßigkeit des Prozesses kann durch verschiedene Prozessrezepte und innovative Prozesskontrolle erreicht werden. Endura CL-Modell bietet präzisionsgesteuerte Heiz-, Kühl- und Konvektionssysteme, um eine konsistente Temperaturregelung in der gesamten Kammer zu gewährleisten. Hohe Durchsatzleistung, genaue Wafer-Handhabung und sichere Mustermanagementfunktionen sind auch in AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL-Geräten verfügbar. Der schnelle Probentransfer wird mit dem intuitiven und automatisierten Wafer-Handling-System ermöglicht. Ein Wafer-Simulator kann auch verwendet werden, um die Notwendigkeit von manuellen Größenmessungen zu beseitigen, wodurch der Bedarf an Fehlern bei der Datenerfassung reduziert wird. Die AMAT Endura CL Einheit wurde speziell entwickelt, um Kosten zu reduzieren und Zykluszeiten zu optimieren und gleichzeitig zuverlässige Fertigungsqualität zu bieten. Die Maschine wird auch durch einen umfassenden technischen Support und Schulungsprogramm unterstützt, um sicherzustellen, dass die Benutzer das Wissen, Werkzeuge und Unterstützung haben, um das Werkzeug zu bedienen. Das neue Asset wurde entwickelt, um eine Single-Module-Plattform für eine kostengünstige fortschrittliche IC-Fertigung bereitzustellen.
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