Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9313580 zu verkaufen

Der AMAT Endura Cluster (CL) Reaktor ist eine Einwafer-, Hochtemperatur- und Hochvakuum-Prozesskammer. Dieses innovative kondensatorstabilisierte induktiv gekoppelte Plasmawerkzeug ist für die anspruchsvollsten Fertigungsanforderungen konzipiert und bietet eine hohe Prozessgleichförmigkeit, Produktivität und Zuverlässigkeit. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL Reaktor verwendet eine vertikale Geometrie Design, um sicherzustellen, dass die Ziel-Wafer gleichmäßigen Plasmabedingungen im gesamten Bereich ausgesetzt ist, so dass sehr eng gesteuerte Prozessparameter über eine große Waferfläche. Die Hochvakuumumgebung des Endura Cluster Reaktors ist entscheidend, um wiederholbare Prozessergebnisse zu erzielen und eine maximale Lebensdauer der Komponenten zu gewährleisten. Niedriger Druck reduziert die Diffusion der Elemente innerhalb des Systems, ermöglicht eine schnellere Substratheizung und -kühlung und absorbiert dabei unerwünschte Partikel. Der variable Druck- und Temperaturbereich ermöglicht eine Vielzahl verschiedener Prozesse, darunter Ätzen, Abscheiden, Streifen, ALD und CVD. AMAT Endura CL verwendet eine patentierte induktiv gekoppelte Plasmaquelle, die ihm überlegene Gleichmäßigkeit und Stabilität verleiht. Die Clusterkonfiguration des Elektrodendesigns führt zu einem homogenen Plasmastrom, so dass die Ätzrate bzw. Abscheiderate sogar über den gesamten Wafer liegt. Die kondensatorstabilisierte Stromversorgung sorgt dafür, dass der Strompegel über den gesamten Prozess gleichmäßig bleibt, was zu wiederholbaren Leistungen und ausgezeichneten Ausbeuten führt. Bei der Prozesssteuerung liefert APPLIED MATERIALS Endura CL hervorragende Wiederholgenauigkeit und hohe Präzision. Das fortschrittliche verteilte Feedback-Kontrollsystem des Systems stellt sicher, dass die Rezeptparameter mit hoher Genauigkeit befolgt werden, was zu präzisen und wiederholbaren Fertigungsergebnissen jedes Mal führt. Die Präzisionsregelung wird durch die vorgetastete Suszeptor-Neigungstechnologie weiter verbessert, die den Waferbogen minimiert und die Substratabdeckung maximiert, was letztlich zu einer gleichmäßigeren Verarbeitung führt. Endura CL ist die erste Wahl für eine Vielzahl fortschrittlicher Fertigungsanforderungen. Seine intelligente und zuverlässige Plattform macht ihn zum Reaktor für viele anspruchsvolle Anwendungen. Die zuverlässigen, wiederholbaren und einheitlichen Prozesse, die durch AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL geliefert werden, kombinieren mit seinen intelligenten Systemen, um es zu einem unverzichtbaren Werkzeug in jeder hochmodernen Produktionsumgebung zu machen.