Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9390614 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL Reaktor ist ein Plasmaätzgerät mit einer magnetisch verbesserten induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP). Dieses Hochleistungs-Hochdurchsatzsystem ist für das Ätzen unterschiedlichster Materialien wie Silizium, Germanium, Galliumarsenid, Indiumphosphid und Kupfer ausgelegt. AMAT Endura CL nutzt eine einzigartige Kombination aus induktiv gekoppelten Plasma- (ICP) und Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Quellen für erhöhte Ätzrate, ausgezeichnete Selektivität und qualitativ hochwertige Ätzprofile. Die untergebrachten Komponenten, einschließlich Ätzkammer, Plasmaquelle und Netzteile, wurden mit Präzision und Genauigkeit entworfen, um eine saubere, defektarme Ätzoberfläche zu gewährleisten. AMAT CL erreicht hohe Durchsatzraten mit einer breiten Palette von Ätzparametern für die Feinabstimmung. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura CL ist mit einer Vier-Zoll-Ätzkammer und einer Autotrode-Hubeinheit für eine präzise Durchmesserregelung und eine möglichst hohe Selektivität ausgestattet. Die ICP-Quelle von Endura CL besteht aus einem externen HF-Stromgenerator, einem Magnetfeldgenerator und einer Mikrowellenquelle. Die ICP-Quelle erzeugt eine Plume mit einer hohen Konzentration von Ionen und Radikalen, die das Werkstück schneller für verbesserte Ätzraten durchdringen. Die einzigartige Elektronenzyklotron-Resonanzquelle ermöglicht eine niedrigere Substrattemperatur während des Ätzens, verringert plasmainduzierte Schäden und ermöglicht höhere Durchsatzraten und verbesserte optische Eigenschaften. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL bietet zudem ein sehr gleichmäßiges Ätzprofil und eine hervorragende Ätzselektivität, insbesondere für mehrschichtige Strukturen. Die zweidimensionale Platte wurde entwickelt, um die Seitenwandvariation zu reduzieren, was hochpräzise Strukturen mit hohem Seitenverhältnis ermöglicht. Eine hochstabile Kammerdruckmaschine sorgt für präzise Ätzparameter während des Ätzprozesses. AMAT Endura CL ist ein ideales Werkzeug für verschiedenste Ätzanwendungen, wie Tieflochbildung in Siliziumsubstraten, High-Aspect-Ratio-Radierungen für MEMS/NEMS-Anwendungen und präzise Mikrobearbeitung von harten Materialien wie Germanium, Quarz und Aluminium. Die auf Amino basierende Funktion mit hoher Selektivität reduziert die Kontamination in der geätzten Struktur und eignet sich somit für empfindliche Gerätestrukturanwendungen. Mit allen Eigenschaften von APPLIED MATERIALS Endura CL ist es ein ideales Werkzeug für Hochleistungs-Ätzprozesse mit hohem Durchsatz.