Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9390615 zu verkaufen

Endura CL ist ein Reaktor zur Materialabscheidung. Es ist für den Einsatz in siliziumbasierten Abscheidungssystemen wie CVD, PECVD und ALD konzipiert. AMAT Endura CL arbeitet über eine warmwandige vertikal-unten keramisch ausgekleidete Zylinderkonstruktion. Dieses Design ermöglicht eine überlegene Gleichmäßigkeit über die Oberfläche des Wafers, eine verbesserte CIP-Fähigkeit (Clean-in-Place) und einen langlebigen Betrieb. Der Reaktor besteht aus mehreren Komponenten, wie Heizung, Quellgase, Duschkopf, HF/RF-Vorspannung, Filament, Anode, Gitter und Leitblech. Das Widerstandsheizelement im Zentrum von APPLIED MATERIALS Endura CL besteht aus Molybdän (oder Wolfram) Filamenten. Dieses Element wird mit bis zu 3,25 kW Gleichstromleistung betrieben und kann Temperaturen bis zu 925 ° C aufweisen. Die Heizung ist in der Lage, eine breite Palette von Verfahren, einschließlich epitaktischen Wachstum, Filmabscheidung, und thermische Glühen. Die Quellgase werden über einen mit dem Kopf des Reaktors verbundenen Gaskrümmer in Endura CL eingespeist. Die am häufigsten verwendeten Gase sind Silan (SiH4) und Diboran (B2H6). Dabei können bis zu vier Gase eingesetzt werden. Die Durchflussmenge und der Kammerdruck werden sorgfältig überwacht, um optimale Abscheidebedingungen zu gewährleisten. Der Duschkopf an der Oberseite des Reaktors ist dazu ausgelegt, das Gas gleichmäßig in die Reaktionskammer zu verteilen. Die HF/RF-Vorspannung, Filament und Anode kombinieren, um ein elektrisches Potential zum Ätzen der Waferoberfläche bereitzustellen. Das Gitter und die Leitwand werden verwendet, um das erzeugte Plasma zu enthalten. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL Reaktor ist weit verbreitet in den Prozess der Herstellung von Siliziumscheiben, von Dünnschichtabscheidung bis thermisches Glühen. Die Kombination aus robustem Heiz- und Quellgas macht AMAT Endura CL zu einer zuverlässigen und effizienten Reaktorauswahl für eine hohe Serienproduktion. Es ist in der Lage, Filme mit ausgezeichneter Qualität, verbesserter Gleichmäßigkeit und höherem Durchsatz als andere verfügbare Reaktoren abzuscheiden. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura CL ist die ideale Wahl für eine langfristige, effiziente Produktion.