Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura HP #293625477 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HP ist ein Hochleistungsprozessreaktor, der für Plasmabearbeitungs- und CVD-Anwendungen (Chemical Vapor Deposition) entwickelt wurde. AMAT Endura HP ist ein Upgrade von der Standardlinie von Endura CVD-Systemen und ist in der Lage, die Substratdurchsatzraten in vielen Reaktorkonfigurationen deutlich zu erhöhen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura HP verfügt über eine einzigartige Hochdruck-Hochtemperatur-Ätzkammer (HPHT), die mit den neuesten fortschrittlichen Plasma- und CVD-Prozessen ausgestattet ist und die Flexibilität des Produktionsprozesses und eine verbesserte Gleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche ermöglicht. Die HPHT-Kammer ist mit hochwertigem SS304 Edelstahl, überlegener Aluminiumoxid-Isolierung konstruiert und bietet überlegene Gleichmäßigkeit im Vergleich zu anderen Standard-CVD-Systemen. Diese Konstruktion ist auch bei reduzierten Aufräum- und Wartungskosten effizienter. Endura HP ist mit einer Graphit- Enhanced Inductively Coupled Plasma (GEICP) -Quelle ausgestattet, die für eine optimale Reaktorleistung einstellbar ist. Die GEICP-Quelle bietet eine hervorragende Plasmagleichmäßigkeit, eine verbesserte Wafer-zu-Wafer-Konsistenz und eine feinere Kontrolle über Plasma- und Abscheidungsprozesse. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HP bietet auch anspruchsvolle Temperiermöglichkeiten. Es ermöglicht eine direkte Steuerung von Temperatur und Druck an jeder Stelle der Prozesskammer, so dass verschiedene Prozesse für bestimmte Anwendungen oder Wafertypen angepasst werden können. AMAT Endura HP kann konfiguriert werden, um mehrere Prozessmodule und erweiterte Materialabscheidungsalgorithmen auszuführen. Dies bietet außergewöhnliche Produktions-Vielseitigkeit und maximiert den Nutzen des Substratdurchsatzes bei gleichmäßiger Schichtdicke. Dies kann zu verbesserten Erträgen, niedrigeren Betriebskosten und ausgezeichneter Waferqualität führen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura HP umfasst auch End-Point-Überwachungsfunktionen und erweiterte Analysesoftware, die detaillierte Einblicke in die Prozessleistung bieten kann. Insgesamt ist Endura HP ein fortschrittlicher Hochleistungs-CVD-Prozessreaktor, der speziell entwickelt wurde, um eine optimale Mischung aus Leistung, Produktivität und Komfort zu liefern. Mit fortschrittlicher GEICP-Beschaffung und ausgeklügelten Prozesskontroll- und Temperaturkontrollfunktionen bietet der Endura HP-Reaktor von AMAT/APPLIED MATERIALS außergewöhnliche Prozessgleichförmigkeit, Wiederholbarkeit und Ertragspotenzial mit reduzierten Prozesszeiten und verbesserten Betriebskosten.
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