Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #117295 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein Hochleistungs-CVD-Reaktor (Thermal Chemical Vapor Deposition), der in der Lage ist, dicke, hochwertige Folien mit ausgezeichneter Stabilität herzustellen. AKT Endura II wird verwendet, um eine Vielzahl von Materialien abzuscheiden, einschließlich Dielektrika, Leiter, Barriereschichten und organische Verbindungen. AMAT Endura II bietet überlegene Einheitlichkeit, überlegene Ratenkontrolle und überlegene Wafer-Wiederholbarkeit. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II wird zur Herstellung von dicken Folien mit ausgezeichneter Prozessstabilität und Gleichmäßigkeit verwendet. Das Endprodukt sind hochstabile, gleichmäßige und fehlerfreie Folien. Endura II ist ein einzoniger, horizontaler CVD-Reaktor, der aus einer Heißzone (Substrathalteranordnung) und einem HF-Plasmagenerator besteht. Die heiße Zone besteht aus einem beheizten Substrathalter, einer Probenstufe und einem drehzahlvariablen Motor. Der HF-Plasmagenerator liefert dem CVD-Prozess Strahlungsenergie. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ermöglicht eine präzise Kontrolle der Abscheiderate mit einem Bereich von 5 bis 250 nm/s für die Hochgeschwindigkeitsabscheidung und 0,01 bis 5 nm/s für die Niedergeschwindigkeitsabscheidung. AKT Endura II nutzt eine Mehrfrequenz-Plasmaquelle für verbesserte Filmgleichförmigkeit und Prozessstabilität. Der Generator soll die Plasmaerzeugung optimieren und das Profil des Prozesses reduzieren. Dies trägt dazu bei, dass die Gleichmäßigkeit der Abscheidung maximiert wird, während der Prozess stabil und wiederholbar bleibt. Die Mehrfrequenz-Plasmaquelle reduziert auch die Wafer-zu-Wafer-Wiederholbarkeit des Verfahrens. AMAT Endura II verfügt zudem über ein einzigartiges Mehrlängen-Duschkopfdesign, das eine hervorragende Ablagerungsgleichmäßigkeit ermöglicht. Der Duschkopf besteht aus einer Reihe von Ebenen, von denen jede eine unterschiedliche Länge hat, um eine gleichmäßige Abscheidung entlang der Länge der Kammer zu ermöglichen. Darüber hinaus ist APPLIED MATERIALS Endura II in der Lage, eine breite Palette von Temperaturen zu verwenden, um verschiedene Abscheidungsrezepte unterzubringen. Endura II ist für Anwendungen konzipiert, die hochwertige CVD-Verfahren wie Mikroelektronik, MEMS und optoelektronische Geräteherstellung erfordern. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist in der Lage, dielektrische und organische Materialien sowie Barriereschichten abzuscheiden. Das einzigartige Design und die fortschrittlichen Prozessfähigkeiten von AKT Endura II machen es zur idealen Wahl für Anwendungen, die eine sehr gleichmäßige Abscheidung, ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Prozessstabilität erfordern.