Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293587508 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 293587508
Wafergröße: 12"
PVD System, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reaktor ist ein modernes chemisches Bedampfungssystem, das eine leistungsstarke und präzise Plattform für die Durchführung einer Vielzahl von chemischen Reaktionen und Prozessen bietet. Dieser Reaktor ist ein kostengünstiges, nicht-thermisches Mittel zur Einführung und Kontrolle von Gasarten in einer chemischen Umgebung. Es hat erweiterte Eigenschaften wie chemische Dampfabscheidung, dielektrische Dünnschichtabscheidung, Dünnschichtätzen und chemisches Gasätzen. AKT Endura II Reaktor verwendet eine Vielzahl von chemischen Spezies, die in die Reaktionskammer injiziert werden, kombiniert mit den gasförmigen Vorläufern, um dünne Filme oder Ätzmuster zu bilden. Zur Erzeugung von Plasma im Reaktor bei niedrigem Druck wird ein Mikrowellengenerator verwendet, der chemische Reaktionen erleichtert. Bei der Dünnschichtabscheidung handelt es sich bei den Reaktanden typischerweise um Polymeres oder Silan (SiH4). Das Substrat wird in der Mitte des Reaktors platziert und die reaktiven Spezies von entlang des Reaktorumfangs befindlichen Auslässen in die Kammer eingespritzt. Das Substrat wird dann sowohl thermischer als auch chemischer Energie ausgesetzt, um die Dünnschichtabscheidung zu fördern. Für das chemische Ätzen werden eine Vielzahl von Ätzmitteln wie Fluorkohlenwasserstoffe (HFKW), Perfluorkohlenwasserstoffe (PFC) und fluorbasierte Plasmen verwendet. Ätzmittel können kombiniert werden, um eine größere Ätztiefe zu erreichen. Das Plasma wird durch ein Magnetfeld erzeugt, das durch Variation des elektrischen Stroms in der Spule erzeugt wird. Dadurch entsteht ein Plasma, das das chemische Ätzen des Substrats beschleunigt. Der AMAT Endura II Reaktor ist mit mehreren Sensoren ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Reaktionsbedingungen und Prozessparameter ermöglichen. Diese Sensoren dienen zur Messung von Anodenkathodenspalt, Heizertemperatur, Abscheiderate, Gasstand, Prozessgasdruck und Temperatur sowie zur Erkennung und Alarmierung bei einer Anomalie. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II Reaktor ist eine hochpräzise und kostengünstige Lösung für Verfahrenstechniker. Es bietet die Fähigkeit, die Bedingungen für Dünnschichtabscheidung und -ätzung schnell und genau vorzubereiten, so dass es ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Branchen ist. Das System ist flexibel und vielseitig einsetzbar und ermöglicht hochwertige Folien für Anwendungen von Solarzellen bis hin zu Flachbildschirmen.
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