Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293615240 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein Reaktor für mehrere CVD-, Ätz- und Diffusionsprozessanwendungen in der Halbleiterindustrie und verwandten Industrien. Es ist ein fortschrittliches Tool, das hervorragende Prozessleistung, wiederholbare Ergebnisse, erhöhten Durchsatz und eine längere Lebensdauer liefert. AKT Endura II ist ein Inline-RIE (Reactive-Ion Etch) -Werkzeug, das einen dualen oder einen einzigen Mikrowellen-RF (Radio Frequency) -Generator verwendet, um die notwendige Leistung für das Ätzen der Waferoberfläche bereitzustellen. Die 2-Kammerkonfiguration sieht den Einsatz von bis zu zwei Ätzgasen für den Ätzprozess vor. Das Werkzeug weist einen linearen Rasterelektronenstrahl (ESB) auf, um die Reaktionsgase zu desorbieren und die Ätztiefe genau zu steuern. Der ESB unterstützt auch kleinere Ätzstrukturen. Die Endura RIE (E-RIE) -Technologie von AMAT Endura II ermöglicht ein gleichmäßiges Ätzen der Halbleiterstruktur bei gleichzeitiger Minimierung der Endpunktabhängigkeit. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II bietet eine komplette Palette von Prozesssteuerungsfunktionen, wie Leistungssteuerung, Temperaturregelung, Flusssteuerung, Belichtungszeitsteuerung und reaktives Ionenätzen. Es bietet auch ein hohes Maß an Substratflexibilität, die eine einfache Anpassung an neue Prozessumgebungen ermöglicht. Endura II ist für Ätz- und Abscheidungsanwendungen konzipiert, die es Anwendern ermöglichen, beide Prozesse in derselben Kammer in einem einstufigen Arbeitsgang durchzuführen. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist mit proprietärer Embedded Software ausgestattet, die Prozessautomatisierung und Optimierung ermöglicht. Diese Software trägt auch dazu bei, die Wiederholbarkeit von Prozessen zu gewährleisten, die Gesamtausbeuten zu verbessern und die Zuverlässigkeit in der IC-Fertigung zu erhöhen. Das Tool verfügt auch über integrierte Sicherheitsvorkehrungen, sowohl Hardware als auch Software, um die Sicherheit von Prozessen und Personal zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht der modulare Aufbau eine einfache Installation, Einrichtung und Wartung. AKT Endura II wurde für die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente entwickelt und bietet überlegene Prozesssteuerungs- und Optimierungsfunktionen. Dank der kompakten Stellfläche und des effizienten Betriebs eignet es sich sowohl für Produktions- als auch für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen, während Anwender von zuverlässigen, wiederholbaren Ergebnissen und erhöhtem Durchsatz profitieren.
Es liegen noch keine Bewertungen vor