Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293615241 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein hochentwickelter Reaktor für fortschrittliche Materialabscheidungsprozesse. Es ist in der Lage, verschiedene Materialien wie Polysilizium, Silizium Germanium, Pt/Au, High-k/Metal-Gate und zwischengeschaltete dielektrische Schichten abzuscheiden. Es rühmt sich eines hohen Durchflusses nicht Gesichtslinienproduktion von einheitlichen High-End-Stromkreisprodukten, ein beispielloses Niveau der Produktivität und Flexibilität in der Halbleiterindustrie bietend. AKT Endura II ist ein großformatiges Cluster-Tool mit bis zu vier separaten Reaktoren, die in einer X-Y-Konfiguration mit bis zu 52 thermisch lokalisierten Liefersystemen angeordnet sind. In Kombination mit der Endura Control Console ermöglicht dies eine robuste und präzise Mehrprozessabscheidung von 5-500 nm. Der Reaktor bietet zudem eine konfigurierbare prozessgekoppelte Hochdurchsatz-Waferreinigung. Es verfügt über eine einheitliche Prozessfähigkeit, eine omnidirektionale Source-to-Substrat-Fähigkeit und umfassende Sicherheitsmerkmale. Der Reaktor hat eine Prozessflexibilität, die eine volle thermische Kontrolle über Substrattemperatur bis zu 250 ° C und Substratvorspannung bis zu +/- 1000V ermöglicht. Dies wiederum ermöglicht die Abscheidung von komplizierten High-Aspect-Ratio-Merkmalen, die häufig von I.C. Produkten benötigt werden. Es verfügt auch über eine einzigartige HF-Modulationsfähigkeit, die eine 3D-Strukturierung von dielektrischen Schichten und Pt/Au oder anderen Materialien bei der Herstellung fortgeschrittener ICs ermöglicht. AMAT Endura II verfügt über ein entscheidungsbasiertes System, das Feedback von Sensoren und Diagnosetools nutzt, um Prozessparameter anzuzeigen und wertvolle Informationen zur Systemintegrität zu überwachen. Dadurch kann der Reaktor eine Reihe von Parametern wie Umgebungsumgebung, Temperatur und Druck schnell verstehen und anpassen. Es hilft auch, das Auftreten von Ausfallzeiten aufgrund unerwarteter Bedingungen zu verhindern. Schließlich nutzt APPLIED MATERIALS Endura II eine intuitive Benutzeroberfläche mit virtueller Diagnose, Prozessparameteranpassungen und mehreren Sicherheitsfunktionen. Dies hilft, den gesamten Prozess zu rationalisieren, so dass es einfacher zu bedienen und effizienter als je zuvor. Das Ergebnis ist ein vielseitiges, flexibles und effizientes Werkzeug, das die Zeit und Arbeit im Zusammenhang mit fortschrittlicher Materialabscheidung erheblich reduziert.