Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293616136 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein hochmoderner Reaktor, der weit verbreitet für die Abscheidung von dünnen Schichten, wie sie für die Mikroelektronik verwendet werden. Es besteht aus vier Komponenten: dem Vakuumsystem, der Prozesskammer, der Stromversorgung und dem Endeffektorarm. Das Vakuumsystem ist verantwortlich für die Schaffung der Ultrahochvakuumumgebung, die der Reaktor benötigt, um ordnungsgemäß zu arbeiten. Es umfasst eine Reihe von Pumpen, Ventilen und Messgeräten, die einen Druck in der Nähe der 10-7 mBar-Marke aufrechterhalten. Außerdem tragen Materialien wie O-Ringe entlang der Vakuumbahn dazu bei, den Transport von unerwünschten winzigen Partikeln zu minimieren. Die Prozesskammer ist der Hauptbaustein des Reaktors. Es handelt sich um einen großen, zylindrischen Behälter mit einer Anzahl von Anschlüssen, um Materialzufuhr und Evakuierung zu ermöglichen. Im Inneren enthält es ein elektrostatisches Spannfutter, das ein Halbleitersubstrat, typischerweise Silizium, und die Targetsubstratmaterialien (wie Siliziumoxid) aufnehmen kann. Es beherbergt auch eine Reihe von anderen Instrumenten wie Verdampfer, Stromversorgung, Gaseinlass und Quelle thermische Controller. Die Stromversorgung ermöglicht es dem Reaktor, eine Spannungsdifferenz zwischen den Elektroden in der Kammer und dem Substrat zu erzeugen. Durch Änderung dieser Spannung können auf dem Substrat eine Vielzahl unterschiedlicher Dünnschichten erzeugt werden. Der Endeffektorarm bewegt das Substrat um die Kammer und hilft, die Anzahl der benötigten Drähte zu reduzieren. AKT Endura II ist ein unglaublich vielseitiges und präzises Instrument. Bei sorgfältiger Kalibrierung des Vakuumsystems und der Stromversorgung können hochpräzise Schichten aus Dielektrikum, Halbleiter und anderen Arten von Beschichtungen relativ einfach hergestellt werden. Es ist in der Lage, extrem dünne Filme mit ausgezeichneten konformen Eigenschaften zu erzeugen und kann zur Herstellung von Geräten mit hohen Erträgen, geringem Stromverbrauch und überlegener Leistung verwendet werden.
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