Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293616611 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II Reactor ist eine fortschrittliche Hochleistungs-Fertigungsplattform für Lithographie-, Ätz- und Abscheidungsprozesse in einer Vielzahl von Anwendungen. Mit hochwertigen Produktionskapazitäten und Funktionen wie automatisierter Prozesssteuerung und In-situ-Überwachung wurde es für die Multi-Stack-Großserienproduktion konzipiert. AMAT Endura II bietet signifikante Fortschritte bei Durchsatz, Gerätegröße und optoelektronischer Leistung. Es ist mit automatisierten Steuermodulen ausgestattet, um eine präzise und zuverlässige Steuerung der Prozessrezeptentwicklung und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Das Advanced Photoresist Processing (APR) Modul ermöglicht die Sub-10 Nanometer Lithographie und das Substrate Warping Monitor (SWM) Modul sorgt für eine präzise Temperatur- und Belastungssteuerung auf großen Wafern. Darüber hinaus bietet das Enhanced In-Situ Monitoring (EIS) -System erweiterte In-situ-Messtechnik-Daten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II basiert auf einer fortschrittlichen In-Vakuum-Cluster-Werkzeugarchitektur. Diese Konfiguration besteht aus bis zu vier Prozessmodulen, die jeweils mit mehreren Kammern ausgestattet sind, in einer in sich geschlossenen Einheit, die keinen zusätzlichen Schrankraum benötigt. Dies erhöht den Durchsatz und senkt die Wartungskosten und liefert dennoch qualitativ hochwertige Ergebnisse. Die Hauptkammer des Systems ist mit einer Vielzahl von Plasmaquellen ausgestattet, darunter Hochfrequenzquellen (RF), Elektronenzyklotronresonanz (ECR) und induktiv gekoppelte Plasmaquellen (ICP) und Nanosekundenimpulse. Die Plasmaquellen ermöglichen das Aufbringen von Beschichtungen, Ätz- und Reinigungsprozessen, um komplexe und fortschrittliche Strukturen zu schaffen. Endura II verfügt auch über ein modernes Stromversorgungsdesign, das einen kapazitiven Filter und einen linearen Verstärker integriert, um eine Hochspannungs- und eine niedrige Welligkeit-Stromversorgung bereitzustellen. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Ionenstrahlenergie und Dosisrate für verbesserte Ungleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Ausbeute. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II ist für maximale Benutzerfreundlichkeit mit einer Flexibilitätssuite konzipiert, die Prozessrezepte, Rezepte auf Basis komplexer Vor- und Nachverarbeitungsdaten und die Möglichkeit ermöglicht, Rezepte zu programmieren, um offline zu laufen. Das Prozessdatenanalyse-Toolset ermöglicht eine gründliche Nachbearbeitungsanalyse, während die Hardware-Control-Suite eine spezifische Rezeptanpassung und Materialkontrolle ermöglicht. Das System verfügt auch über eine integrierte Rezeptdatenbank, in der Benutzer Rezepte speichern und abrufen können, um konsistente Ergebnisse über verschiedene Prozesse zu gewährleisten. Insgesamt ist AMAT Endura II eine leistungsstarke und fortschrittliche Fertigungsplattform für anspruchsvolle Ätz-, Lithographie- und Abscheidungsprozesse. Mit seiner fortschrittlichen Prozesssteuerung, In-situ-Überwachungsfunktionen und automatisierten Rezeptsteuerung bietet es hochwertige Ergebnisse und verbesserte Geräte- und Mustergrößen. Die Flexibilitätssuite und die Hardwaresteuerung ermöglichen es Anwendern, ihre Prozesse zu optimieren, um die Genauigkeit und den Durchsatz zu verbessern.