Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293624638 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II-Ausrüstung ist ein CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der in der Halbleiter- und dielektrischen Folienherstellung eingesetzt wird und präzise und wiederholbare Prozessergebnisse liefert. AMAT Endura II ist eine leistungsstarke Lösung, die zuverlässig, kosteneffizient und in einer Vielzahl von Anwendungen einsetzbar ist. Es verfügt über mehrere Funktionen, einschließlich einer intuitiven Touchscreen-Benutzeroberfläche, Feststoffheizungen für eine genaue Temperaturregelung, eine Vielzahl von installierten Gaspaketen mit verschiedenen Gaseingangsoptionen und die Fähigkeit, die Temperatur, den Druck und den Gasdurchfluss schnell und präzise anzupassen. Aus den Gaszuführungen gepumpt, wird der Strom der Reaktantgase durch die präzisen elektronischen Massenstromregler (MFCs) von APPLIED MATERIALS Endura II gesteuert. MFCs bieten eine präzise Steuerung der exakt kalibrierten Durchflussraten für eine ganze Reihe von Reaktantgasen und ermöglichen eine präzise Regelung von Druck, Temperatur und Gaskonzentration im Reaktor. Die Reaktantgase und Abgase werden über eine gemeinsame Abgasleitung laminiert und RotaFlow Auspuff- und Drosselventile (RFTV) werden zur Steuerung des Abgases verwendet. Endura II verwendet ein einzigartiges thermisches Kontrollsystem, das aus drei thermisch isolierten Zonen auf dem Substrat des Substrathalters besteht. Eine dieser Zonen, die Abscheidezone, wird für Prozesstemperaturen bis 800 ° C verwendet. Die anderen beiden Zonen dienen zur Vorkonditionierung und Kühlung des Substrathalters vor und nach dem Abscheidevorgang zur Neupositionierung der Substrate. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II Einheit Hauptkammer ist ein hochwertiger Edelstahl und ist vollständig von der äußeren Umgebung isoliert, wodurch die Notwendigkeit einer Vakuummaschine, hohe Reinheit während des gesamten Prozesses zu halten. Um eine präzise Prozesssteuerung zu gewährleisten, verwendet AMAT Endura II einen erweiterten Controller und eine Feedback-Schleife, die eine Echtzeit-Überwachung der Prozessparameter ermöglicht. Auf dem Endura-Werkzeug sind eine Vielzahl von Sensoren installiert und während des Abscheidungsprozesses werden Proben entnommen, die Daten bereitstellen, die zur Anpassung der Prozessbedingungen und zur Aufrechterhaltung einer engen Kontrolle des Prozesses verwendet werden können. Angewandte Materialien Endura II Asset ist auch mit einem Venturi-Wäscher und einem katalytischen Oxidator zur Reinigung der Abgase und zur Beseitigung von Prozessumgehungen vor dem Auspuff ausgestattet. Dadurch wird sichergestellt, dass keine Prozessumgehungen oder Verunreinigungen aus dem Modell austreten können und die Prozessumgebung rein gehalten wird. Insgesamt ist Endura II ein zuverlässiges und zuverlässiges CVD-Abscheidewerkzeug, das präzise Prozessergebnisse bei maximaler Wiederholbarkeit liefert. Es ist mit effektiven Steuerungs- und Überwachungssystemen ausgestattet und bietet ein beträchtliches Maß an Flexibilität und Einstellbarkeit, um optimale Abscheidungsergebnisse zu erzielen.