Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293628318 zu verkaufen

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ID: 293628318
Wafergröße: 12"
PVD System, 12" Process: Liner / Barrier Hard Disk Drive (HDD) not included.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II Reaktor ist eine chemische Dampfabscheidung (CVD) Ausrüstung. Dieses System wird verwendet, um dünne Folien und Beschichtungen aus verschiedenen Materialien zu erzeugen, die zum Schutz und für andere Anwendungen auf Oberflächen aufgebracht werden können. Der AMAT Endura II Reaktor besteht aus einer mit einem Substrat beladenen Kammer, einer Prozessgasfördereinheit, einer Wärmequelle und einer Stromversorgung. ANWENDUNGSMATERIALIEN Endura II Reaktor ist mit einer Polysilizium und Oxid CVD, Single-Wafer-Maschine ausgestattet, die für die Chargenverarbeitung bis zu sechs 6-Zoll oder vier 8-Zoll-Wafer gleichzeitig konfiguriert werden kann. Endura II Reaktor bietet verbesserte Abscheidung Gleichmäßigkeit und ausgezeichnete Prozesskontrolle. Diese Einheit weist einen beheizten Substrathalter auf, der eine gleichmäßige Positionierung des Substrats in der Reaktionskammer ermöglicht. Dies gewährleistet die Gleichmäßigkeit der zu erzeugenden Schichten und trägt auch dazu bei, Kontaminationen auf dem Substrat zu reduzieren. Die Reaktionskammer bietet auch eine hervorragende Temperaturregelung, die eine präzise und wiederholbare Foliendicke und Gleichmäßigkeit ermöglicht. Endura II Reaktor ist in der Lage, auch auf großflächigen Substraten eine hohe Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Dies liegt an den mehreren verfügbaren Prozesssteuerungsparametern, die eine optimierte und wiederholbare Leistung ermöglichen. Darüber hinaus verfügt der AMAT Endura II-Reaktor über eine patentierte Hochgeschwindigkeits-Nachkühlfunktion, die hilft, die Restspannung in der Folie erheblich zu reduzieren, was zu überlegenen Filmeigenschaften führt. APPLIKATIONSMATERIALIEN Der Endura II Reaktor bietet zudem eine hervorragende Gleichmäßigkeit der Filmdicke über den Wafer und liefert nach der Verarbeitung einen Feinabstimmungsparameter, der eine homogene Schichtbildung und optimale Prozessausbeuten gewährleistet. Endura II Reaktor ist in der Lage, eine breite Palette von Gasen zu verarbeiten, einschließlich Silane und Sauerstoff, und kann bei Temperaturen bis zu 1100 Grad Celsius betrieben werden. Dieses Tool ist auch mit verschiedenen Optionen, wie einem Programmable Logic Controller (SPS) und Interlock-Optionen zur Verfügung, um den Benutzern zu helfen, die bestmöglichen Ergebnisse zu erzielen. Der AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II Reaktor ist mit seiner exzellenten Prozesssteuerung und seinem breiten Spektrum an Prozessfähigkeiten eine gute Wahl für diejenigen, die eine zuverlässige, leistungsstarke CVD-Anlage suchen.
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