Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293640653 zu verkaufen

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist eine Batch-Reaktionskammer mit plasmaverbesserten PECVD-Fähigkeiten (Chemical Vapor Deposition), die zur Abscheidung einer Vielzahl dünner Filme, einschließlich Dielektrika, Metalle und Halbleiter, entwickelt wurde. Dieser Reaktor arbeitet sowohl unter atmosphärischen als auch unter vakuumtechnischen Bedingungen und eignet sich somit für eine Vielzahl von Anwendungen. AKT Endura II besteht aus einer Reaktionskammer, einer HF-Stromversorgung (für CCVD-Prozesse), einer Bias-Stromversorgung, einer Gassequenziereinrichtung, einem Vakuumsystem und einer Datenerfassungseinheit. Die AMAT Endura II Reaktionskammer besteht aus Edelstahl und ist mit off-axis trichterförmigen Einlässen für eine gleichmäßige Reaktantenverteilung ausgestattet. Es hat ein Volumen von 20,7 Litern und einen Druckbereich von 0,001 bis 1,00 Torr mit einem Basisdruck von besser als 3x10-6 Torr. Seine maximale Temperaturfähigkeit beträgt 600 ° C mit einem 6 kW geregelten Netzteil. Das HF-Netzteil kann Frequenzen von 0,3-300 MHz bei einer maximalen Leistung von 1000 kW erzeugen. Darüber hinaus ermöglichen 4 programmierbare Stromquellen eine unabhängige Steuerung von Anoden- und Kathodenleistung. Das Bias-Netzteil soll die Prozesssteuerung über den herkömmlichen Vier-Quadranten-Betrieb hinaus auf Acht-Quadranten-Fähigkeiten erweitern. Das Bias-Netzteil bietet eine unabhängige Steuerung der Bias-Sonde, Kathode und Anode. Endura II verwendet einen Sechs-Gas-Sequenzer, der bis zu sechs Gaseinlässe steuert, wodurch komplexe Prozesse mit mehreren Gasvorläufen durchgeführt werden können. Die Vakuummaschine besteht aus einer Verstärkerpumpe und einer turbomolekularen Hochvakuumpumpe, die bis zu 8e-7 Torr Basisdruck erzeugt. Zur Überwachung von Prozessdaten ist APPLIED MATERIALS Endura II mit einem Datenerfassungswerkzeug zur Erfassung, Verarbeitung und Anzeige von Betriebsdaten ausgestattet. Die Datenerfassung umfasst Status/Alarmüberwachung, SPC-Software und integrierte Control/Power/Biasing-Funktionen. Insgesamt ist AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ein hochleistungsfähiges bearbeitetes Werkzeug, das mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet ist, um eine präzise Kontrolle der Dünnschichtabscheidung zu ermöglichen. Seine atmosphärische und Vakuum-Modus-Fähigkeit, HF-Stromversorgung, Bias-Stromversorgung, Gas-Sequenzierungsmodell, Vakuum-Ausrüstung und Datenerfassungssystem, kombinieren eine zuverlässige und effiziente Einheit für viele Dünnfilm-Abscheidungsprozesse.