Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293761335 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein vertikaler Einwafer-Epitaxiereaktor, der für das Wachstum von Nanostrukturen auf der Oberfläche von Halbleiterscheiben verwendet wird. Es wurde entwickelt, um die neuesten Hochleistungs-Halbleiterbauelemente wie HF und optoelektronische Bauelemente zu produzieren. AKT Endura II besteht aus einer Hochvakuumkammer, mehreren Temperaturregelzonen, leistungsstarken Zentrifugalzerstäubern für die Verdampfung von Quellmaterialien und einer einzigartigen reaktiven Gasverteilungsausrüstung. AMAT Endura II kann bis zu sechs Wafer pro Lauf aufnehmen und der Prozess wird durch ein bewährtes Feedback-System gesteuert. Die Vakuumkammer ist so ausgelegt, dass sie einen Betriebsdruck von 1 mbar oder weniger erreicht. Das Gerät ist mit einer leistungsstarken Heizung ausgestattet, die während des gesamten Prozesszyklus automatisch eingestellt werden kann. Die Temperaturprofile innerhalb der Zonen können unabhängig von -100 bis 1000 ° C eingestellt werden. Es ist auch mit vier unabhängigen radialen HF-Zerstäuberquellen zur Abscheidung von Verbindungen auf die Waferoberflächen ausgestattet. Endura II verfügt auch über eine einzigartige reaktive Gasverteilmaschine. Das Werkzeug besteht aus einem HF-aktivierten Massenstrom-Regler, der es dem Anwender ermöglicht, den Gasdruck genau zu steuern und einzustellen, um den Prozess zu optimieren. Das HF-aktivierte Gasventil hilft weiter, die Druckgradienten und die Strömungsdynamik innerhalb der Kammer zu steuern. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II wird auch mit einem High-End-Wafer-Rotationsmodell geliefert. Die Drehzahl kann von 0-750 U/min eingestellt und die Wafer mit Fliehkräften von bis zu 1000 Gravitationskräften beaufschlagt werden. Dies ermöglicht eine vollständige Gleichmäßigkeit des Prozesses über den Wafer. Neben diesen Eigenschaften verfügt AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II auch über eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen wie eine Gasüberwachungseinrichtung, Abkühlfunktionen und Niederdrucksensoren. Darüber hinaus nutzen sie die intelligente Prozessarchitektur, die Daten aus mehreren Wafern für statistische Analysen speichern und analysieren kann. AKT Endura II ist sowohl für SEMI Standard S2- als auch für S3-Level-Prozesse zertifiziert und somit ideal für eine Vielzahl von Anwendungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen.