Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293815270 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 293815270
Wafergröße: 12"
Physical Vapor Deposition (PVD) System, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein fortschrittlicher plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidungsreaktor (PECVD). Es ist für die Abscheidung von fortgeschrittenen dielektrischen dünnen Schichten, einschließlich High-K und Low-K Materialien konzipiert. AKT Endura II bietet durch seine Kombination aus Duschkopf mit direktem Antrieb, fortschrittlicher Mehrpunktsteuerung und fortschrittlichen Containment-Systemen eine hohe Leistung. AMAT Endura II verfügt über einen hochgenauen Duschkopf mit direktem Antrieb, der eine gleichmäßige Abscheidung über große Probenoberflächen erreichen kann. Es weist auch ein Mehrpunktsteuerungssystem auf, das die Abscheidung an mehreren Stellen präzise steuern kann, was zu einheitlichen Abscheideprofilen führt. Darüber hinaus bietet das fortschrittliche Containment-System von APPLIED MATERIALS Endura II eine hervorragende Emissionsminderung und bietet einen hervorragenden Umweltschutz. Endura II ist in der Lage, die Abscheidung sowohl im Vakuum- als auch im Überdruckmodus durchzuführen, was die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien ermöglicht. Seine Abscheidungsmöglichkeiten umfassen sowohl High-K-Dielektrika als auch Low-K-Materialien, so dass Benutzer eine Vielzahl komplexer Filme ablegen können. Der Reaktor ist auch in der Lage, Hochgeschwindigkeitsabscheidung durchzuführen, mit der Fähigkeit, bis zu 80 nm Abscheidungsgeschwindigkeit von Kupfer bereitzustellen. Darüber hinaus bietet AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II eine hervorragende Prozesssteuerung. AKT Endura II verwendet ein MFC-System (High-Accuracy Mass Flow Controller), um den Durchfluss genau zu steuern und eine präzise Prozesssteuerung zu gewährleisten. Zusätzlich ist der Reaktor mit einem integrierten HF-Generator ausgestattet, mit dem die Plasmaparameter während der PECVD-Abscheidung gesteuert werden können. AMAT Endura II ist zudem sehr kompatibel mit der Prozesssteuerungssoftware des Unternehmens. Diese Software bietet Anwendern eine detaillierte Prozessüberwachung und -steuerung, die eine vollständige Kontrolle der Abscheidungsparameter des Reaktors ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II ist ein fortschrittlicher PECVD-Reaktor, der eine präzise Abscheidung von High-K- und Low-K-Dielektrika ermöglicht. Der direkt angetriebene Duschkopf des Reaktors, die fortschrittliche Mehrpunktsteuerung und fortschrittliche Containment-Systeme sind alle so konzipiert, dass sie überlegene Abscheidungsprofile und Umweltschutz bieten. Der Reaktor ist in der Lage, eine Hochleistungsabscheidung durchzuführen und sowohl im Vakuum- als auch im Überdruckbetrieb durchzuführen. Darüber hinaus bietet die integrierte HF-Generator- und Prozesssteuerungssoftware eine präzise Prozessüberwachung und -steuerung.
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