Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293815284 zu verkaufen
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ID: 293815284
Weinlese: 2017
Physical Vapor Deposition (PVD) system
XU-ACP130-A15 Prealigner & centering module
XU-RC350S Automated Teller Machine (ATM) robot
NXC100 Controller
XU-ACL4230 Linear track module
(3) Front Opening Unified Pod (FOUP) load ports
Gray platform type
Chamber Positions:
Chamber 1: VERSA TiN
Chamber 2: HT AL
Chamber 3: HT AL
Chamber 4: VERSA TiN
Chamber 5: HT AL
Chamber 6: HT AL
Chamber 7: VERSA TiN
Chamber 8: DMD
Chamber F: DMD
MF Robot: XP
NSK Robot controller, ceramic blade
CF Config: Dual Pass
Standard loadlock type
Gray loadcenter type:
0190‑48620 DI Cooler
Cryo compressor, 208V
Line frequency: 50-60 Hz
Line voltage: 208V / 480V
UPS
2017 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reaktor ist ein hochentwickeltes Werkzeug zur Steuerung von Halbleitermaterialien. Es handelt sich um einen feldinduzierten Gas/Flüssigkeit (FIGL) Reaktor, der einen vollautomatischen chemischen Dampfabscheidungsprozess (CVD) ermöglicht. Dieses CVD-Verfahren wird zur Herstellung dünner Filme aus Siliziumdioxid, Siliziumnitrid sowie anderen Materialien auf Halbleiterscheiben verwendet. Diese Ausrüstung wurde entwickelt, um überlegene Leistung und Präzisionskontrolle für den CVD-Prozess zu bieten. AKT Endura II ist mit spezialisierten Komponenten ausgestattet, darunter ein patentiertes induktives Heizsystem, reaktive Gasinjektoren und eine integrierte Steuerungsarchitektur. Das einzigartige Design der induktiven Heizeinheit ermöglicht eine präzisere Temperaturregelung. Diese Maschine ist in der Lage, die Gleichmäßigkeit der Temperatur genau zu überwachen und eine automatisierte Überwachung und Anpassung des Reaktionsprozesses zu ermöglichen, was wiederum zuverlässige Ergebnisse ermöglicht. Auch die Gasinjektoren von AMAT Endura II sind hocheffizient und sorgen für eine leichtere Steuerung von Vorläufergasen. Dies ist durch die Konstruktion des Gasinjektors möglich, wodurch verhindert wird, dass die Vorläufergase in die Reaktionskammer gelangen, bis sie benötigt werden. Dieser Zugang zu einem konstanten Strom von Vorläufergasen ermöglicht wesentlich schnellere Reaktionen und eine stark erhöhte Wiederholbarkeit. APPLIED MATERIALS Endura II ist zudem mit einer verkapselten Architektur und einem modularen Aufbau ausgestattet, der eine einfache Integration in andere AKT-Systeme ermöglicht. Dies vereinfacht die Wartung und stärkt die Leistungsfähigkeit des CVD-Prozesses weiter. Die hochmoderne Steuerungsarchitektur des Tools bietet dem Anwender zudem große Flexibilität. Endura II Reaktor ist die fortschrittlichste Komponente zur Steuerung von Halbleitermaterialien. Dieses Modell ist in der Lage, präzise Temperaturregelung, einfache Manipulation von Vorläufergasen und effiziente Integration mit anderen Systemen. Die reaktiven Gasinjektoren, induktive Heizgeräte und der modulare Aufbau sind so konzipiert, dass die Geschwindigkeit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit des CVD-Prozesses erhöht wird. Dies alles kombiniert, um ein System zu schaffen, das perfekt für die Verarbeitung von fortschrittlichen Halbleitermaterialien ist, die wiederholbare Ergebnisse mit erhöhter Präzision erfordern.
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