Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293830799 zu verkaufen

ID: 293830799
Weinlese: 2015
Physical Vapor Deposition (PVD) system (4) PVD Chambers (2) Process chambers, 12", PN: 0060-03608, 0060-03609 Degas chamber Pre clean chamber Carrier, 12" Wafer, 4" - 6" Load port Wafer carrier, 5 x 4" Wafer pocket, 4" Tray (2) SiC Carrier (4", 6 hole) SiC Carriers HON HAI PRECISION, Endura 2, 4" - 6P + 2" -1P SiC Tray EDWARDS, IH600, Dry pump (IH600 MKS), Power supply: 200 - 208 V EDWARDS, IH600 MK5, Pump, Power supply: 200 - 208 VG, 50/60 Hz 2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reaktor ist eine leistungsfähige, kostengünstige Plasma-verbesserte chemische Dampfabscheidung Ausrüstung entwickelt, um eine breite Palette von Beschichtungsmaterialien abzuscheiden. Mit der Fähigkeit, Filme mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit, Haftung und Vertikalität abzuscheiden, ist der AKT Endura II Reaktor ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, darunter fortschrittliche Substrate, Optoelektronik, MEMS, Flachbildschirme und biokompatible Beschichtungen. Herzstück des Systemdesigns ist die zum Patent angemeldete Smart View Plasmakammer von AKT. Diese Maßnahme ermöglicht eine einfache Überwachung des Abscheideprozesses von der Rückseite der Plasmakammer aus. Mit dem vorhandenen Kammerfenster profitieren Forscher von einer Erhöhung der Abscheidegleichmäßigkeit, indem sie die Überwachung der gesamten Kammer in Echtzeit ermöglichen. Die Smart View-Funktion unterstützt Forscher auch beim Verständnis der Auswirkungen von Prozessparametern auf die Ablagerungsrate in anspruchsvollen Anwendungen. Der AMAT Endura II Reaktor ist mit einer zweizonigen widerstandsheizenden thermischen Einheit aufgebaut, die eine homogene Proben- oder Substratbeschichtung gewährleistet. Die Zweizonen-Temperaturregelmaschine sorgt für eine gleichmäßige Temperaturverteilung über den Arbeitsbereich und sorgt gleichzeitig für ein schnelles, sauberes Anfahren und Abkühlen. Der Reaktor ist mit reaktiven Detektoren ausgestattet, die die Gasverteilung innerhalb der Kammer überwachen und detaillierte Prozessinformationen liefern. Darüber hinaus bietet der Plasmareaktor Endura II mit den Funktionalitäten Adjustable RF Generator (ARG) und Linear Sweep RF Generator (LSG) zusätzliche Vorteile gegenüber herkömmlichen CVD-Systemen. Neben der Smart View Plasmakammer ist der Endura II Reaktor für eine maximale Plasmakontrolle ausgelegt. Seine feste Frequenz und die einstellbaren Frequenzen geben den Forschern die Möglichkeit, die Partikelverarmung zu reduzieren und die Plasmagleichmäßigkeit zu erhöhen. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist auch mit hochpräzisen automatisierten Gasabsperr- und Gaskontrollwerkzeugen ausgestattet, die das Gasgemisch überwachen, um eine optimale Verarbeitung zu gewährleisten. Sicherheitstechnisch ist der AKT Endura II Reaktor mit einer Vakuumverriegelung, einer korrosionsbeständigen Edelstahlkammer ausgestattet und mit geringen Emissionen ausgelegt. Es ist mit einem fortschrittlichen Notfallüberwachungsmodell ausgestattet, das Missbrauch verhindert und einen sicheren Arbeitsbereich bietet. Zusammenfassend ist AMAT Endura II eine hochleistungsfähige, kostengünstige plasmaverbesserte chemische Bedampfungsanlage, die eine breite Palette von Beschichtungsmaterialien abscheidet. Mit seiner einzigartigen Smart View Plasmakammer, einem Zweizonen-Temperaturregelsystem, reaktiven Detektoren, einstellbaren und linearen Fegen von HF-Generatros, Gasabsperr- und Gassteuergerät und einer fortschrittlichen Notfallüberwachungsmaschine bietet der APPLIED MATERIALS Endura II Reaktor eine bemerkenswerte Lösung.
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