Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9130290 zu verkaufen

ID: 9130290
Pre clean chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein hochpräzises Plasmaätzwerkzeug für die Halbleiterindustrie. Es wird zur Ätzabscheidung und anderen Ätzprozessen von Wafern und dünnen Filmen eingesetzt. AKT Endura II Geräte bieten höchste Ätzgleichmäßigkeit bei extrem niedrigen Ätzraten. Es bietet auch die genaueste Kontrolle der Ätztiefe und -form. Das Tool nutzt fortschrittliche Prozesssteuerungstechnologie unter Verwendung einer Stickstoffplasmaquelle, um eine präzise Ätzsteuerung und konsistente Ergebnisse zu erzielen. Das System ist in drei verschiedene Bereiche unterteilt; die Kühlzone, die Plasmazone und die Ätzzone. Die Kühlzone ist für die Regelung der Temperatur im Ätzbereich verantwortlich, um die optimale Ätzrate zu erhalten. Die Plasmazone enthält die zur Herstellung des Plasmas verwendeten Stickstoffquellen- und Gaskontrollsysteme. Schließlich ist die Ätzzone, wo der Ätzprozess tatsächlich stattfindet. AMAT Endura II-Einheit verwendet Vakuumtechnologie, um die Prozessparameter zu steuern und die Genauigkeit zu gewährleisten. Es bietet eine enge Kontrolle über Prozessgrößen wie Sauerstoffdurchfluss, Gaskonzentration und Druck. Um die Ätzgleichmäßigkeit und -genauigkeit zu erhöhen, implementiert die Maschine auch eine automatisierte E-Beam-Quelle. Die Quelle ermöglicht es dem Werkzeug, die Ionenbeschussenergie und die Ätzrate auf verschiedenen Substraten genau zu steuern. Das Tool bietet auch eine breite Palette von Überwachungsfunktionen und Diagnosen. Auf diese Weise können Operatoren den Ätzprozess besser verstehen und Probleme identifizieren. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II Asset hat die Fähigkeit, verschiedene Prozessparameter wie Gesamtdruck, Hochfrequenzleistung und Lastspannung zu überwachen. Das Modell ist auch mit einem programmierbaren Alarmsollpunkt und einer selbstdiagnostischen Ausrüstung ausgestattet, um den Benutzer auf Auffälligkeiten aufmerksam zu machen. Das Endura II-System ist ein hochpräzises Werkzeug, das sich perfekt für die Serienproduktion eignet. Es bietet eine hohe Ätz-/Abscheidungsgleichmäßigkeit und die Fähigkeit, eine Vielzahl von Prozessparametern zu überwachen und zu steuern. Es bietet auch integrierte Diagnosen, um Probleme während des Ätzprozesses zu identifizieren und zu beheben. Darüber hinaus ist die Einheit AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II darauf ausgelegt, sich in andere Prozesse zu integrieren und ihre Ätzfähigkeiten zu maximieren.
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