Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9151707 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein Hochleistungsreaktor, der bei der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Es ist für die Herstellung von hochpräzisen, hochleistungsfähigen Halbleiterbauelementen ausgelegt. Die Geräte bieten branchenführende Prozessfähigkeiten, eine breite Palette von Automatisierungsfunktionen und eine intuitive Benutzeroberfläche. AKT Endura II kombiniert einen integrierten, einziehbaren Front-Openingload-Port mit einer automatisierten Full-Field-Wafer-Handling-Lösung. Dadurch kann das System bis zu 8 Substrate gleichzeitig zuverlässig beladen und entladen. Die automatisierte Handhabungseinheit bietet auch eine Hochgeschwindigkeits-Ausrichtungslösung, die Nanometergenauigkeit erzielen kann, sowie eine akustische Waferzentriermaschine. Der automatisierte Transport im Reaktor gewährleistet eine gleichbleibende und präzise Wiederholbarkeit der Prozesse. AMAT Endura II bietet eine breite Palette von Prozessmodulen für die Abscheidung, einschließlich Atomschichtabscheidung (ALD), physikalische Dampfabscheidung (PVD), chemische Dampfabscheidung (CVD), Ätzen, Reinigen und Strippen. Damit können alle drei gängigen Prozessschritte Abscheiden, Ätzen und Reinigen in einem Schritt durchgeführt werden. Das intelligente Steuerungstool des Reaktors liefert präzise Prozessrezepte und misst sowohl die In-Situ- als auch die Echtzeit-Waferqualität. Dies ermöglicht eine schnelle und genaue Anpassung der Prozessbedingungen. Das Asset verfügt auch über fortschrittliche Sensortechnologie, die Prozessparameter wie Temperatur, Druck und Durchfluss messen kann. Dies ermöglicht eine genaue Echtzeit-Überwachung des Prozesses, um konsistente Ergebnisse zu erhalten und Schrott zu reduzieren. Die Automatisierungsfunktionen von APPLIED MATERIALS Endura II können bis zu 80% des Prozesses automatisieren, was eine verbesserte Effizienz und reduzierte Zykluszeiten bietet. Endura II ermöglicht eine leistungsfähige und effiziente Fertigung unterschiedlichster Halbleiterbauelemente wie Speicherchips, Model-on-a-Chips und mikroelektromechanische Systeme (MEMS). Seine Fortschritte in der Automatisierung, Genauigkeit und Produktionsausbeute machen ihn zu einem hochattraktiven Reaktor für die Halbleiterindustrie.
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