Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9156594 zu verkaufen

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AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
Verkauft
ID: 9156594
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2016
Advanced low pressure source (ALPS) ESI chambers, 12" Process: METAL 2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist eine vielseitige Multi-Tool-Reaktorplattform, ideal für die Prozessintegration und Skalierung innerhalb von Halbleiter-, Advanced Packaging, MEMs und Optoelektronik-Reinraumumgebungen. Diese Lösung der nächsten Generation verfügt über eine innovative, skalierbare Architektur, die Präzision, Skalierbarkeit und verbesserte Effizienz für hochdurchsatzorientierte, fortschrittliche Prozesse bietet. Der AKT Endura II Reaktor verfügt über einen modularen Mehrprozesskammerdesign in Verbindung mit einer automatisierten Robotik-Lösung, die bis zu 8 Lastanschlüsse ermöglicht. Die vielseitige Reaktorplattform verfügt über eine große Auswahl an Wafergrößen und Prozessfähigkeiten, darunter: Ätzen, Abscheiden, Glühen, Trockenreformieren, kundenspezifische ALD-Prozesse, Plasmaquelle/Energiezufuhr und Prozessrezeptentwicklung. Jeder Port kann mehrere Prozesse wie Ätzen mit Atomschichtabscheidung (ALD), Ätzen/Abscheiden und Tempern/Abscheiden unterstützen. Die integrierte Roboterlösung ermöglicht ein schnelles und effizientes Be- und Entladen von bearbeiteten Substraten von jedem Port. Die fortschrittliche Prozesssteuerungsausrüstung von AMAT Endura II ist mit fortschrittlichen kollaborativen Prozesssteuerungsstrategien (CPC) ausgestattet, um die fortschrittliche Prozessentwicklung zu beschleunigen und die Prozesseffizienz zu optimieren. CPC verwendet zahlreiche Automatisierungs- und Bedienerlogik-Algorithmen, um die Produktqualität zu verbessern, transiente Prozesszustände zu stabilisieren und Prozessmetriken zu überwachen, um die Ungleichmäßigkeit zu verringern. Die zentrale Prozessleitstelle bietet zudem eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine einfache Lernkurve und schnelle Produktübertragung gewährleistet. Die offene Interlock-Architektur von Endura II bietet unvergleichliche manipulationssichere Sicherheit. Das System ist mit Sicherheitsabschaltverriegelungen ausgestattet, einer Abgasanlage, die den aktuellen Sicherheitsvorschriften entspricht und vollständig mit NFPA-Berichtscodes mit einer patentierten Flammenabschaltmaschine kompatibel ist. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II bietet eine umfangreiche Reihe von Prozesskammern, Versorgungsschränken und Mehrzonen-Temperaturregelung sowie eine Vielzahl von In-situ- und Ex-situ-Prozessgasquellen, HF-Stromversorgungen und Komponenten, um eine größere Vielseitigkeit für kundenspezifische Verarbeitungsanforderungen zu bieten. Die anpassungsfähige Substrat- und Prozesswerkzeugkonfiguration bietet eine verbesserte Präzision für die verteilte Verarbeitung und bietet gleichzeitig Lastsperrfunktionen für UV-freie, dynamische Temperaturanstiege und verlängerte Prozesszeiten. Abschließend bietet AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II eine effektive, skalierbare Reaktorplattform, ideal für eine Reihe fortschrittlicher Halbleiter-, MEMs und Optoelektronik-Reinraumprozesse. Das modulare, mehrprozessuale Kammerdesign, die modernste Prozesssteuerung und manipulationssichere Sicherheitslösungen sorgen für eine verbesserte Prozess- und Anwendersicherheit, Effizienz und Skalierbarkeit für alle Fertigungsanwendungen.
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