Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9195097 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9195097
CVD TIN Chamber, 12"
Process: TXZ
Chamber only SIP
SIP/TI
Missing parts:
Shower head
Isolation ring
H2 Sensor
TMP Leybold.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein leistungsstarker Reaktor für fortschrittliche Abscheidungsprozesse. Diese Ausrüstung wurde für Produktionsumgebungen konzipiert und umfasst Hochtemperaturverarbeitungsfunktionen mit einer Vielzahl von modularen Komponenten. Es eignet sich zur Abscheidung von Dünnschichtmaterialien zur Herstellung mikroelektronischer, optoelektronischer und biotechnologischer Komponenten. AKT Endura II ist ein Zweikammersystem, das für die Hochgeschwindigkeits-Waferübertragung ausgelegt ist. Dies ermöglicht eine schnellere Wendezeit beim Abscheiden von Dünnschichtmaterialien. Es verfügt über eine effiziente Wärmemanagementeinheit, die Energieeinsparungen ermöglicht. Diese Maschine beinhaltet auch eine Hochleistungslampe zur Beschleunigung der Abscheideraten für die Serienproduktion. AMAT Endura II hat einen maximalen Temperaturbereich von bis zu 600 ° C und einen Druckbereich von bis zu 5 Torr. Die Pumpendrehzahl ist variabel und kann bis zu 55 Liter/Minute eingestellt werden. Das Tool enthält auch fortschrittliche Software zur Kontrolle der Kammerbedingungen, um einen optimalen Prozess zu gewährleisten. Das Asset umfasst mehrere modulare Komponenten wie einen Lader/Entlader, ein Substratkühlmodell, ein Heizungssteuermodul und ein Controller-Modul, das verwendet wird, um Rezepte zu senden und die gesamten Kammerbedingungen zu steuern. Dies ermöglicht elektrische Lichtbogen-, Abscheide-, Sputter-, Ätz- und Widerstandsheizanwendungen, abhängig von den installierten Komponenten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II enthält auch ein Touchscreen-Display, mit dem der Benutzer die Bedingungen und den Status der Kammer überwachen und den Prozess einrichten kann. Diese Anzeige ermöglicht auch die Datenprotokollierung. Somit kann der Benutzer die Prozessleistung überwachen und bei Bedarf Anpassungen vornehmen. Endura II wurde entwickelt, um eine schnelle Umstellung und präzise Kontrolle der Prozessbedingungen zu ermöglichen. Damit ist es eine ideale Wahl für die Serienfertigung, perfekt für mikroelektronische, optoelektronische und biotechnologische Anwendungen. Es ist entworfen, um rauen Umgebungen zu widerstehen und ist einfach zu warten und zu bedienen.
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