Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9198082 zu verkaufen

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ID: 9198082
Wafergröße: 12"
PVD System, 12" SIP/TI Chamber only SIP.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor ist eine hochmoderne chemische Bedampfungsanlage auf Produktionsniveau, die für die schnelle Herstellung hochwertiger elektronischer Materialien ausgelegt ist. Dieser Reaktor ist in der Lage, im kommerziellen Maßstab zu produzieren und verfügt über die branchenführende Atmospheric Thermal Enclave (ATE), die unübertroffene Gleichmäßigkeit und überlegene Produktausbeute bietet. Das ATE-System verfügt über vier unabhängige elektronische Heizzonen mit präziser Steuerung von Gas, Heizung und Kühlung. Dies gewährleistet gleichmäßige Temperaturen von bis zu 120 ° C und Gasdurchsätze von bis zu 60 Litern pro Minute (L/min). Zur Optimierung des Abscheidungsprozesses weist die ATE-Einheit auch eine kontinuierlich variierende Konzentration an reaktiven Gasen auf, was zu einer qualitativ hochwertigsten Abscheidung unterschiedlichster Materialien wie Metalle, Oxide und Nitride führt. Der AKT Endura II Reaktor verfügt zudem über eine 3-dimensionale Endzustandsprofilierung. Diese einzigartige Fähigkeit verwendet Reihenheizsysteme mit überlegener Gleichmäßigkeitskontrolle. Dies ermöglicht es dem Benutzer, Endzustandsprofile für exakte Temperaturbedürfnisse mit weichen Rampen bis auf Umgebungsbedingungen einzustellen. Zur parallelen Abscheidung von separaten Materialien umfasst der AMAT Endura II Reaktor auch bis zu vier mechanische Spalter zur Aufspaltung von Gasströmen zwischen zwei oder mehr Reaktoren. Diese bieten eine unabhängige Temperaturregelung, so dass der Reaktor auch Dutzende von verschiedenen Materialien in einem Lauf produzieren kann. APPLIKATIONSMATERIALIEN Endura II Reaktor verfügt auch über eine bordeigene Massenstromregelmaschine, die sowohl inerte als auch reaktive Ströme steuern kann. Dabei werden vier hochgenaue Massendurchflussregler sowie ein Druckregelventil zum Trimmen des Prozessraumdrucks verwendet. Das bordeigene Reaktanden-Mischwerkzeug ermöglicht es dem Anwender auch, die Reaktionsgeschwindigkeiten der Gase genau zu steuern. Endura II Reactor sorgt für eine überlegene Korngrößenverteilung über eine Reihe von Materialien von Nanoskala bis Mikrometer. Es verfügt über einen Auto-Sampler, der automatisch Proben von mehreren Stellen innerhalb des Reaktors sammelt. Dadurch erhält der Anwender Charakterisierungsdaten über die Qualität des hergestellten Materials. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor ein fortschrittliches, hochmodernes Asset, das in der Lage ist, eine breite Palette von Materialien mit außergewöhnlicher Qualitätskontrolle auf kommerziellen Produktionsniveaus zu produzieren. Dieses Modell trägt dazu bei, dass die höchsten Produktionserträge erzielt werden und die produzierten Materialien höchsten Qualitätsstandards entsprechen.
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