Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9205044 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9205044
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
PVD System, 12"
(3) Scanners
(3) Racks
CVCF Rack
(3) Monitor racks
Front monitor rack
System component information:
Factory information:
FFU Type: Thin type
(3) POD
FLEX 4 Controller long type
Light curtain
Signal tower: 3 Colors
Robot type: YASAKAWA AT Robot
Pass through option: (2) Slots
Degas chamber information:
(2) Chambers
Chamber type: Standard
Cryo pump: IS-8F
Chamber A&B information:
Chamber A: Pass
Chamber B: Cool
Lid type: Clear
Buffer & transfer information:
Robot type: XP
RGA Option: No
Cryo pump: IS-8F
LCF Amplifire:
(14) Buffer
(12) Transfer
Chamber 1:
Process type: ALPS Co
Adapter: 0040-62882
Spacing: 225 mm
Weldment type: Old type
MFC:
UFC 8565C-AR 150 sccm
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
Chamber 2:
Process type: Ni-10at%Pt
Adapter: 0041-02309
Weldment type: Old type
MFC:
UFC 8565C-AR 100 sccm
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
Chamber 3:
Process type: TTN
Magnet: DURA
Adapter: 0040-80367
MFC:
UFC 8565C-AR 100 sccm, Process
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
UFC 8565C-N2 200 sccm, Process
Chamber 4:
Process type: SIP TiN
Adapter:
0040-62877 Bottom, SIP TTN
0040-76943 Upper, SIP TTN(3L)
MFC:
UFC 8565C-AR 50 sccm, Process
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
UFC 8565C-N2 100 sccm, Process
Chamber 1 / 2 / 3 / 4:
Controller tower type: CCT
Heater type: ESC
Gate valve type: Old type 3 pos
Cryo pump: IS-BF
Shutter option
Sub rack:
Load center rack
(3) Equipment racks
(2) Heater exchangers
Heater exchanger type: SMC Thermo chiller INR-498012D-X007
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reaktor ist eine fortschrittliche, fortschrittliche Technologie, Hochtemperatur-PCVD-Verarbeitungsanlage, die entwickelt wurde, um fortschrittliche Lithographie- und Halbleiteranwendungen zu ermöglichen. Der AKT Endura II-Reaktor basiert auf einem proprietären Hochtemperatur-PCVD-Verfahren, das in der Lage ist, ultradünne Schichten zu beschichten, abzuscheiden und zu diffundieren. Das System umfasst eine Hochleistungskathode zur Bereitstellung eines hohen Durchsatzes; einen mehrdimensionalen variablen Frequenzmodulator zur präzisen Prozesssteuerung; ein großer Zielbereich für das Oblatenabschalten und den Hopräzisionsstickstoff/Sauerstoff reinigt Management; und eine computergesteuerte Abhebeeinheit zur genauen Steuerung der Waferdicke. Die Maschine beinhaltet auch eine leistungsstarke Plasmabehandlung, die mit dem Hochtemperatur-PCVD-Verfahren zur verbesserten Substratfilmhaftung gekoppelt werden kann. Das Werkzeug hat einen großen Temperaturbereich, so dass es für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden kann, einschließlich der Abscheidung von dünnen Schichten und der Diffusion von Metallen. Der AMAT Endura II Reaktor bietet zudem eine hervorragende Wafer-Austastfähigkeit und ist so prozessfähig, dass er höchste Präzision bei minimalem menschlichen Eingriff erreichen kann. Um maximalen Durchsatz und Präzision zu gewährleisten, ist der Endura II-Reaktor zudem mit einer leistungsstarken Gaszufuhr ausgestattet, die eine präzise Steuerung des Dünnschichtabscheidungsprozesses ermöglicht. Dieses Gaszufuhrmodell verfügt über einen Aufheizmodus, der es dem Gerät ermöglicht, bei Bedarf bei unterschiedlichen Temperaturen zu arbeiten, um gewünschte Ergebnisse zu erzielen. Neben den spezifischen Prozessfähigkeiten des Reaktors APPLIED MATERIALS Endura II ist er auch mit erweiterten Funktionen zur Datenerfassung und -sammlung ausgestattet. Dieses System ist in der Lage, komplexe Datenpunkte millisekundengenau zu plotten. Darüber hinaus wurde das Gerät auf die Zusammenarbeit mit der PC-basierten Software-Anwendung AKT konzipiert, um eine weitere Anpassung der Prozesse zu ermöglichen. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reaktor ist ein gut abgerundetes Stück fortschrittliche Ausrüstung, die zuverlässige, präzise Leistung bietet, um die Anforderungen der anspruchsvollsten Anwendungen zu erfüllen. Dank seiner leistungsstarken Kathode, der Fähigkeit, den Gasfluss und die Temperatur zu steuern, und seiner umfangreichen Datenerfassungs- und Sammelmöglichkeiten ist der AKT Endura II Reaktor die perfekte Wahl für jede PCVD-Verarbeitungsanwendung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor