Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9231975 zu verkaufen

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ID: 9231975
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2013
Chamber, 12" 2013 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor ist ein Halbleiterprozesswerkzeug der nächsten Generation, das für die präzise Verarbeitung fortschrittlicher Technologieknoten entwickelt wurde. Es bietet überlegene Leistung und Einheitlichkeit bei den anspruchsvollsten 3D-NAND-Anwendungen der Branche. Dieser Reaktor wurde entwickelt, um den Durchsatz zu maximieren, Präzision zu gewährleisten und Fehler zu minimieren und gleichzeitig Zykluszeiten zu reduzieren. Der Reaktor unterstützt integrierte Prozessströme, die schnellere und genauere Ätz-, Abscheide- und Glührezepte ermöglichen. AKT Endura II Reactor verfügt über ein kompaktes, einteiliges, werkzeugfreies Design, das eine schnelle und nahtlose Installation ermöglicht. Dieses offene Architekturdesign vereinfacht die Installation zusätzlicher Hardware nach Bedarf, um die Kundenanforderungen zu erfüllen. Der Reaktor bietet Leistungsvorteile mit seiner robusten Linearantriebstechnologie für einen äußerst zuverlässigen Betrieb. Darüber hinaus verfügt es über eine einzigartige Erosionsausrüstung, die eine höhere Ätzgenauigkeit gegenüber Substraten unterschiedlicher Dicke und Zusammensetzung ermöglicht. Der Reaktor verfügt über eine fortschrittliche Prozesssteuerung, die eine präzise Temperatur- und Druckregelung ermöglicht, was zu überlegener Prozessstabilität und Wiederholbarkeit führt. Darüber hinaus verfügt der AMAT Endura II Reaktor über ein integriertes Kammersystem, das als adaptiv gesteuerte Kammer bezeichnet wird. Diese Einheit beseitigt zusätzliche Verluste, was zu verbesserten Abflussraten, verbesserter Schichtabscheidungsgleichförmigkeit und einer Verringerung des Partikeltransfers führt. Die Adaptiv gesteuerte Kammer trägt dazu bei, die Kosten für höhere Chemien zu senken und gleichzeitig die Prozessverfügbarkeit zu erhöhen. Endura II Reaktor ist für maximale thermische Gleichmäßigkeit und eine hervorragende Partikelkontrolle ausgelegt. Dies geschieht durch ein innovatives Wärmeübertragungsdesign, das fortschrittliche Plasmafluss- und Feldphysiksimulationen verwendet. Der Reaktor verfügt über eine robuste Plasmaheizmaschine, die fortschrittliche Heiztechnologien verwendet, um die Auswirkungen ungleichmäßiger Oberflächentemperaturgradienten effektiv zu verwalten, was zu einer höheren Gleichmäßigkeit über den Wafer führt. Der Reaktor nutzt auch proprietäre Gas-Durchfluss-Steuerungstechnologie, um eine optimale Prozessleistung bei minimalen Ausfallzeiten zu erhalten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II Reaktor ist voll konform mit den modernsten Technologie-Knoten und Herstellungsverfahren. Der Reaktor ist Kapitalanlage, die extrem hohe up-time und zuverlässige Prozesse bietet. Dieses kostengünstige Werkzeug ist ideal für fortschrittliche Prozesstechnologien, einschließlich 3D-NAND, Formgebung, dielektrische Abscheidung, reaktives Ionenätzen und Metallabscheidung.
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