Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9235244 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9235244
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Systems, 12" Process: Metal 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein integrierter, automatisierter Thermo-/Prozessreaktor für die Entwicklung von Forschungsprodukten und Geräten. AKT Endura II ist für viele verschiedene Prozesse konzipiert, einschließlich Halbleiter, MEMS, Dünnfilm, Solar, fortschrittliche Keramik, Nanowire und allgemeine Abscheidungsanwendungen. AMAT Endura II ist ein vollwertiges Werkzeug für die Verarbeitung in bis zu 4 "-Wafergrößen. Es ist auch in der Lage, mit einer breiten Palette von Materialien zu verarbeiten, einschließlich Polysilicium, Palladiumsilicid, Nickelsilicid, Bornitrid usw. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um schnelle Substratübertragung, maximale Flexibilität und schnelle Wärmerückgewinnungszeiten zu bieten. Angewandte Materialien Endura II kann mit einer breiten Palette von inerten, reduzierenden und reaktiven Umgebungsgasen arbeiten, einschließlich Argon, Stickstoff, Ammoniak, Sauerstoff, Wasserstoff und Methan. Endura II ist mit einer hochauflösenden Touchscreen-Schnittstelle ausgestattet, mit der Prozessingenieure auf Parameter, Rezepte und Kommunikationssysteme zugreifen können. Die intuitiven Grafikwerkzeuge ermöglichen eine einfachere Parameterverwaltung und ein effizienteres Prozessdesign. Die Schnittstelle ist mit der Cloud-Software verbunden und ermöglicht den Zugriff auf aktuelle Prozessrezepte und SSL-parametrische Rezepte. Es bietet auch Ereignisprotokollierung und Datenbankspeicher, die eine Echtzeit-Datenerstellung und -analyse ermöglichen. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist mit einem fortgeschrittenen radialen Suszeptor ausgelegt, der einen hochpräzisen radialen Antrieb ermöglicht. Der Suszeptor arbeitet auf Dickschicht dynamische Prozesssteuerung und einem Niederdruck unbelasteten Prozessraum mit einem äußeren Drucktisch. AKT Endura II verfügt auch über ein fortschrittliches Wafer-Erkennungssystem mit einem einzigartigen langlebigen Wafer Shuttle und Greifer Mechanismus. Das Gerät arbeitet mit einer 5-L/min Flüssigstickstoff-Kühlmaschine und kann bis zu 1200 Watt Eingangsleistung betreiben. AMAT Endura II ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen wie redundanten Absperrventilen, Überdruckabsperrventilen, Antikollisionsschutz und mehreren Sicherheitsverriegelungen ausgestattet. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II ist mit zwei HF-Generatoren ausgestattet, die mehrere Substratläufe ohne Unterbrechung ermöglichen. Endura II ist ein leistungsstarkes, kostengünstiges Werkzeug zur Optimierung von Prozessen mit verbesserten Erträgen und schnelleren Zykluszeiten.
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