Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9236846 zu verkaufen

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reaktor ist eine neue Generation von Ätzverarbeitungsanlagen für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist für die effiziente Entfernung von Materialien von einer Vielzahl von Substraten ausgelegt, um Geräte mit Präzisionsmerkmalen zu erreichen. AKT Endura II ist ein metall-organischer chemischer Dampfabscheidungsreaktor (MOCVD), der eine extrem gleichmäßige Materialabscheidung auf großflächigen Substraten ermöglicht. Zu den fortschrittlichen Funktionen gehören ein Mehrzonen-Duschkopf-Design, das die Gleichmäßigkeit verbessert, eine mehrstufige Aufwärm-/Abkühlausrüstung, eine schnelle Glühfähigkeit und eine Echtzeit-Rezeptbearbeitung. Es verfügt auch über eine Vielzahl von Prozessüberwachungsfunktionen, einschließlich Echtzeit-Prozessdaten und End-of-Run-Daten. AMAT Endura II ist auch mit einer Vielzahl anderer Abscheide- und Ätzsysteme zur Präzisionsfunktionsdefinition ausgestattet. Endura II wurde speziell entwickelt, um ein sehr gleichmäßiges Ätzen von Metalloxiden und Nitriden aus einer Vielzahl von Substraten wie Silizium, Indiumphosphid, Galliumarsenid, Saphir und anderen III-V-Materialien zu ermöglichen. Die Kammer ist so ausgelegt, dass sie schnell Wärme vom Substrat auf die Gasquelle überträgt. Dies ermöglicht hohe Ätzraten, was wiederum zu hochauflösenden Merkmalen führt. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II ist in der Lage, sowohl Deckenbereiche als auch gestufte Ätzmerkmale zu ätzen. Die Flächenätzrate beträgt bis zu 200 nm/min und die Schrittätzrate beträgt bis zu 400 nm/min. Das System ist empfindlich auf die Konzentration der Ätzquelle und den Abstand zum Substrat. Die Ätzung erfolgt unter Hochvakuumbedingungen, die durch eine turbo-molekulare Vakuumpumpe erzeugt werden. Das Gerät ist auch mit Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die angepasst werden können, um den Ätzprozess anzupassen. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist in der Lage, qualitativ hochwertige Oberflächen mit minimalen Mängeln zu erreichen. Der Ätzprozess führt auch zu minimaler vertikaler Seitenwandneigung und gleichmäßiger Tiefe. Die Maschine ist auch sehr flexibel und wurde für einfache Wartung und Upgrade konzipiert. Seine Werkzeuge können für eine Vielzahl von Anwendungen wie 3D-Strukturierung, Mikrobearbeitung und Dreischichtätzen angewendet werden. AKT Endura II verfügt zudem über eine hervorragende Erfolgsbilanz und hat einige der höchsten Erträge der Branche erzielt.