Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9251715 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9251715
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
PVD System, 12" 2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein CVD-Reaktor für die Forschung, Entwicklung und kommerzielle Herstellung von Dünnschichtbeschichtungen. AKT Endura II Reaktor kann verwendet werden, um dünne Metall- und dielektrische Filme sowie Verbundhalbleiter und andere fortschrittliche Materialien für mikroelektronische, optoelektronische und Mikrosystemgeräte abzuscheiden. AMAT Endura II ist ein thermisch robuster, großflächiger CVD-Reaktor im industriellen Maßstab in modularer Bauweise. Seine Kammer hat eine Abmessung von 40 „x 50“ (101,6 cm x 127 cm) und liefert kostengünstig grössere gleichmäßige Beschichtungen auf Substraten von Substraten, die 8 „x 8“ (20,3 cm x 20,3 cm) bis zu 30 „x 38“ (76,2 cm x 96,5 cm) messen. Der typische Prozessdruckbereich liegt zwischen 1 Torr und 10 Torr, während die Temperatur von 25 Grad Celsius bis 1000 Grad Celsius programmierbar ist. Seine einzigartige doppelte Helix Duschkopf Design sorgt für hohe Gleichmäßigkeit und Prozess Wiederholbarkeit, mit ≤10 nm/Grad Celsius Temperatur und Druck Variation, was zu Stöchiometrie Kontrolle und höhere Abscheidungsraten. Die in APPLIED MATERIALS Endura II integrierte Technologie ermöglicht eine hochpräzise Substratheizung, eine gleichmäßige Gasverteilung, einen effizienten gas-/chemischen Einsatz und eine präzise Prozesssteuerung. Es verwendet das Einführungsmodul für chemische Quellen (CSIM), um Prozessgase zu 99,999% in einer vorgemischten Form und einer flexiblen Gaslieferung einzuführen, um die vollständige Verwendung von Chemikalien zu gewährleisten und die Prozesskosten zu senken. Darüber hinaus ermöglicht das intelligente Automated Control System (ACS) die Echtzeit-Überwachung und Steuerung wichtiger Prozessparameter, wodurch die Foliendefektivität reduziert wird. Endura II wurde entwickelt, um die Sicherheit zu maximieren und bietet Ihnen eine Lichtbogenerkennungssteuerung, eine Vakuumverriegelung und ein optisches Doppelstrahlpyrometer. Darüber hinaus verhindern seine schwingungsarmen Kühlpumpen, dass sich die Prozesskammer während des Betriebs erwärmt, was die Gefahr von Sicherheitsgefahren verringert. Abschließend ist AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ein zuverlässiger, leistungsstarker CVD-Reaktor mit fortschrittlicher Prozesssteuerung zur robusten Herstellung von dünnen Metall- und Dielektrikumfolien sowie Verbundhalbleitern und anderen fortschrittlichen Materialien.
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