Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9270653 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9270653
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2019
System, 12" 2019 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein CVD-Reaktor, der zur Bildung dünner Schichten aus verschiedenen Materialien auf einem Substrat verwendet wird. Der Reaktor besteht aus mehreren „Schichten“, von der beheizten Kammer über die Träger- und Transferkomponenten bis hin zur rechnergesteuerten elektrischen Ausrüstung. Die beheizte Kammer ist das Herzstück des AKT Endura II Reaktors. Es handelt sich um einen zylindrischen Edelstahlbehälter mit einer inneren und einer äußeren Kammer. Die äußeren Kammerwände sind zur Aufrechterhaltung der Temperatur mit Isolierung ausgekleidet, während die inneren Kammerwände mit keramischen Suszeptoren ausgekleidet sind, die als Heizer wirken. Die Suszeptoren können Temperaturen bis 1200 ° C erreichen und unabhängig voneinander zu unterschiedlichen Materialschichtdicken gesteuert werden. Die Kammer enthält auch einen oder mehrere spezialisierte Gaseinlässe, wodurch Chemikalien und Gase in den Abscheidungsprozess eingesetzt werden können. Die Stütz- und Transfermechanismen von AMAT Endura II sind für eine effiziente und zuverlässige Substratbewegung in und aus der Kammer ausgelegt. Der typischerweise am gegenüberliegenden Ende der Kammer angeordnete Schienentisch weist ein Rollensystem zur schnellen Übertragung von Substraten zwischen der Kammer und dem Schienentisch auf. Die Reaktionskonzentration, Temperatur, Druck und Strömung der Prozessgase werden alle elektronisch überwacht und geregelt. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II arbeitet mit einem Hybrid-Gleichstrom/Hochfrequenz-Netzteil. Diese Maschine ermöglicht eine bessere Kontrolle des Abscheideprozesses, so dass der Bediener die Temperatur, Gleichmäßigkeit und Dicke der gebildeten Schichten genau einstellen kann. Ein internes Computerwerkzeug überwacht und regelt den elektrischen Strom und die Spannung sowie überwacht und erfasst Bestandsgrößen, einschließlich Steckertemperatur, Kammerdruck und abgeschiedene Schichtparameter. Endura II Reaktor ist speziell für die Herstellung von Hochtemperaturabscheidungsschichten ausgelegt. Es ist in der Lage, verschiedene Schichten von Materialien, einschließlich Metall-Halbleiter, Metall-Isolator und Silizium-Dielektrikum, jeweils mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Selektivität. Das fortschrittliche elektrische Modell des Reaktors ermöglicht eine präzise Steuerung der Schichtbildung, so dass der Bediener in kurzer Zeit gut definierte Materialschichten erstellen kann.
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