Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9274814 zu verkaufen
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ID: 9274814
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
MOCVD System, 12"
EFEM
TM
TxZ
(2) PCII
(2) IMP
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein hochmoderner Reaktor, der bei der Herstellung fortschrittlicher Materialien eingesetzt wird. Es ist für die Herstellung von Folien mit hohem Durchsatz, geringer Fehlerdichte und Beschichtungen ausgelegt, die in einer Reihe von industriellen Anwendungen aufgebracht werden können. AKT Endura II ist ein parallelverarbeitendes Vakuumabscheidungswerkzeug, das mehrere Produktionskammern, Quellmaterialien und Wachstumsprozesse kombiniert, einschließlich E-Strahl, thermische Verdampfung und Sputtern. Es ist in der Lage, die Abscheidungsrate, die Oxiddicke, die Oxid/Metall-Verhältnisse und die optischen konstanten Verteilungen über einen weiten Bereich von Wellenlängen und einfallenden Winkeln genau zu steuern. Darüber hinaus verwendet AMAT Endura II die sekundäre Ionenmassenspektrometrie (SIMS) zur Prozessüberwachung und die optische Spektroskopie zur Filmcharakterisierung. Es ist auch mit fortschrittlicher Automatisierung, Vakuummessgeräten, digitalen Controllern und Datenkommunikationsports ausgestattet. APPLIKATIONSMATERIALIEN Endura II verfügt über einen 20-Kammer-Cluster, der Substrate bis zu vier Zoll Durchmesser oder bis zu sechs Zoll Durchmesser mit verlängerten Vorrichtungen handhaben kann. Endura II-Reaktor verfügt über eine hohe Prozessflexibilität und hervorragende Gleichmäßigkeitsfähigkeiten; seine Kammer-Kammer-Temperatur-Gleichmäßigkeit ist kleiner als ¼ eines Grades C, und seine Abscheidungsrate Gleichmäßigkeit ist bis zu sechsmal so hoch wie bei herkömmlichen Chargenverdampfern. Darüber hinaus machen die programmierbaren Abscheideprozesse von AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II und ihre Fähigkeit, Parameter einzelner Cluster zu kodieren, spezialisierte Prozessknoten Wirklichkeit. AKT Endura II bietet eine breite Palette von Vorteilen, darunter eine modulare Konstruktion mit Raum für zukünftige Upgrades, geringe Betriebs- und Wartungskosten und überlegene Kosteneffizienz im Vergleich zu herkömmlichen Verarbeitungssystemen. Darüber hinaus kann AMAT Endura II mit seiner skalierbaren Durchsatzkapazität spezifische Anwendungsanforderungen hinsichtlich der Anzahl der Substrate und der gesamten Prozesszeit erfüllen. Zusammenfassend ist APPLIED MATERIALS Endura II ein hochmoderner Reaktor mit hohem Durchsatz, der auf eine signifikante Produktionsflexibilität und minimale Defekte ausgelegt ist. Mit seinen branchenführenden Fähigkeiten ist Endura II ein zuverlässiges und leistungsstarkes Werkzeug zur Herstellung fortschrittlicher Materialien für eine Reihe von industriellen Anwendungen.
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