Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9314715 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist eine PECVD-Ausrüstung zur Abscheidung von dielektrischen Folien, Metallen und Siliziden. Das System kann 4 "-Wafer bei Temperaturen bis 400 ° C in einer RTP-Kammer verarbeiten. AKT Endura II Reaktor verfügt über eine spezielle Be-/Entladestation und Zusatzausrüstung, die Substrat Temperatur und Rezeptsteuerung ermöglicht. Sie besteht aus einer Prozesskammer, einem Prozesskopf und einer Basisstation. Die Prozesskammer ist eine 8-Zoll-Einwafer-Prozesskammer mit Quarzwänden und Deckel, die die Verarbeitung von Silizium, isolierenden und leitfähigen Materialien ermöglicht. Die Prozesskammer nutzt die Turbo-Pumpe Turbo-V AdvanceTM Pumpeinheit für verbesserte Zykluszeiten und Zuverlässigkeit. Es hat auch einen TemperFloTM programmierbaren Temperaturregler, um Temperaturen innerhalb der Reaktionskammer zu halten. Der Prozesskopf der AMAT Endura II-Maschine enthält einen Satz von fünf Elektroden, die Energie für das Substrat und die Prozessgase liefern. Die Gesamtleistung für die Abscheidungsreaktion beträgt 6,75 kW. Die Köpfe sind für Flexibilität und sequenzierte Reaktoroperationen ausgelegt, so dass mehrere Prozessschritte nacheinander durchgeführt werden können. Die Basisstation des Endura II-Werkzeugs dient als Bedienpanel für den gesamten Reaktorbetrieb. Es enthält eine Reihe von sieben programmierbaren Eingängen und Modi für Rezeptsteuerung, Temperaturregelung und Gasverteilung. Die Anlage verfügt auch über eine CCD/Kamera zur Überwachung der Kammerbedingungen während des Prozessbetriebs. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II Reaktor ist ein fortschrittliches Abscheidungswerkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Halbleiterprozesse, die dielektrische Filme, Metalle und Silizide erfordern. Es ist hochproduktiv und kostengünstig, so dass Prozessingenieure Prozesse mit hohen Erträgen und optimierten Zykluszeiten entwickeln und warten können.