Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315097 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein Einzelwaferreaktor, der ein umfassendes, langlebiges und benutzerfreundliches Prozesswerkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen bietet. AKT Endura II nutzt fortschrittliche Technologien wie eine induktiv gekoppelte Hochfrequenz-Plasmaquelle (ICP), einen schnell pulsierenden Vorspannungsgenerator und mehrere Ätzhardware-Konfigurationen, um eine hochwertige Fertigung mit einer Vielzahl von Gerätestrukturen zu ermöglichen. Die vollständig integrierte Ausrüstung von AMAT Endura II besteht aus einem kryogenen Kryostaten, einer in situ tragenden Baugruppe, einem Fernbedienungssystem und einem festfrequenten Hochfrequenz-ICP-Generator. Diese Kombination liefert eine kostengünstige, leistungsfähige ICP-Ätzeinheit, die leicht in bestehende Halbleiterfertigungsleitungen integriert werden kann. ANGEWANDTE MATERIALIEN Der modulare Aufbau von Endura II ermöglicht einfache Skalierbarkeit und Upgrades, um die Anforderungen der Fertigungslinie eines Kunden zu erfüllen. Alle Komponenten der Maschine können nach individuellen Kundenwünschen konfiguriert werden. Die Prozesskammerkonstruktion ist auch für die Ätzgleichmäßigkeit unter unterschiedlichen Prozessbedingungen optimiert. Die Hochfrequenz-ICP-Quelle von Endura II bietet Rezeptflexibilität und ermöglicht eine präzise Kontrolle über Ätzrate, Ätzselektivität, CD-Toleranz (kritische Dimension) und andere Filmeigenschaften. Der HF-Vorspanngenerator ermöglicht auch eine präzise Steuerung von Ätz- und Abscheideprozessen. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II 's in-situ Transportwerkzeug ermöglicht einen hohen Durchsatz und bietet eine breite Prozessfähigkeit, von der einstufigen Strukturierung bis zur mehrstufigen Verarbeitung. Der schnelle Impulsvorspannungsgenerator bietet schnelle Prozesszeit und eine ausgezeichnete CD-Steuerung, ohne die Ätzfrequenz oder Prozessgleichmäßigkeit zu beeinträchtigen. AKT Endura II verfügt zudem über eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche und ein intuitives Alarmmanagement, so dass Anwender Prozessabläufe schnell einrichten und überwachen können. Darüber hinaus wird eine vollständige Palette von Diagnosetools bereitgestellt, mit denen Kunden ihren Prozess überwachen und analysieren und mögliche Prozessprobleme identifizieren können. Insgesamt bietet AMAT Endura II seinen Kunden ein umfassendes, langlebiges und benutzerfreundliches Prozesswerkzeug für die Halbleiterherstellung. Durch seine Hochfrequenz-ICP-Quelle, den Schnellimpuls-Vorspannungsgenerator und andere Funktionen ermöglicht APPLIED MATERIALS Endura II Kunden eine genaue, wiederholbare und kostengünstige Geräteherstellung.