Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315100 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein hochmoderner PECVD-Reaktor (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) zur Herstellung von dünnen Schichten aus dielektrischen, Barriere- und Schutzmaterialbeschichtungen für die Halbleiter- und Dünnschichtgeräteherstellung. Das fortschrittliche Reaktorsystem wird elektrisch versorgt, um ein Hochenergieplasma in einer speziell entwickelten Vakuumkammer zu erzeugen. Das durch den Reaktor erzeugte Plasma erzeugt ein ionisiertes Gas (Plasma), das die Dissoziation von Reaktantenarten innerhalb der Dämpfe der Einsatzgase oder der in der Kammer selbst suspendierten Reaktantendampfmoleküle bewirkt. Reaktive Spezies sind dann in der Lage, exponierte Oberflächen zu durchdringen und auf der Substratoberfläche zu einer Schutzschicht zu nukleaten. AKT Endura II bietet mehrere einzigartige Vorteile. Das Zweiplattendesign ermöglicht eine präzise Regelung von Temperatur und Druck. Dadurch werden Temperatur- und Druckschwankungen bei der Filmabscheidung eliminiert und eine höhere Wiederholbarkeit ermöglicht, was gleichbleibende Hochleistungsfolien ermöglicht. Das automatisierte In-situ-Endpunkt-Überwachungssystem maximiert Zuverlässigkeit und Einheitlichkeit bei gleichzeitiger Reduzierung von Kosten und Ausfallzeiten. Das Kammerdesign von AMAT Endura II sorgt für eine gleichmäßige Gasverteilung in der gesamten Kammer und hohe elektrische Anschlusseigenschaften, was die Abscheidung größerer Flächenscheiben ermöglicht. Dadurch entfällt auch die manuelle Belastung, was zu einem höheren Prozessdurchsatz und hohen Ausbeuten führt. Darüber hinaus trägt die im Endura II-Reaktor verwendete PECVD-Konfiguration zur Maximierung des Durchsatzes bei, indem sie eine bessere Kontrolle der Reaktivität, Temperatur und des Drucks des Reaktanten ermöglicht. Es hilft auch, die Oberflächentemperatur des Wafers homogen zu bleiben, was zu einem besseren Durchsatz und einer verbesserten Gleichmäßigkeit der Dünnschichtabscheidung führt. Angewandte Materialien Endura II Reaktor ist gut geeignet für eine Vielzahl von Vorrichtungs- und Dünnschichtabscheidungsanwendungen, bietet eine gute Prozesskontrolle durch präzise Temperatur- und Druckkontrolle. Das automatisierte In-situ-Endpunkt-Überwachungssystem eliminiert die manuelle Belastung und bietet eine hohe Wiederholbarkeit, wodurch konsistente Hochleistungsfolien hergestellt werden können.