Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315103 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9315103
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Metal PVD system, 12" 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein CVD-Reaktor, der für die Abscheidung von Metallen und Dielektrika auf Substraten ausgelegt ist. Dieser Reaktortyp wird üblicherweise bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet, da er in der Lage ist, einen einwandfreien Materialfilm bei genauen Dicken und Temperaturen zu erzeugen. AKT Endura II verfügt über eine Vielzahl anpassbarer Komponenten, die eine Optimierung des Abscheideprozesses für bestimmte Anwendungen ermöglichen. AMAT Endura II ist ein zweizoniger, vertikaler Batch-CVD-Reaktor. Es ist für den Betrieb unter einer Vielzahl von Temperaturen, Drücken und Gasdurchflussraten konzipiert, so dass breite Prozessfenster konfiguriert werden können, um spezifische Qualitäts-, Durchsatz- und Kostenanforderungen zu erfüllen. Die Doppelzonen des Reaktors sind kardinal getrennt und können unabhängig oder gleichzeitig betrieben werden, was eine größere Vielseitigkeit im Abscheidungsprozess ermöglicht. Dies wird noch dadurch verstärkt, daß die Zonenlängen auch an die jeweilige Aufgabe angepaßt werden können. Das AEt Endura II verwendet eine Reihe von Suszeptoren, um die Substrate während der Abscheidung an Ort und Stelle zu halten. Diese Suszeptoren sind entworfen, um einzelne Wafer, mehrere Wafer und verschiedene Formen und Größen von Substraten zu halten. Sie weisen auch verstellbare Aufzüge auf, so dass Substrate während des Prozesses be- oder entladen werden können, ohne dass die Maschine angehalten werden muss. Darüber hinaus bietet APPLIED MATERIALS Endura II eine breite Palette von Sicherheitsmerkmalen, die eine optimale Sicherheit der Arbeitnehmer gewährleisten. Dazu gehören eine Inertgasumgebung, ein gekühlter und isolierter Innenraum sowie eine Notabschalteinrichtung, die mit einer Gassteuerung und einem Kanal verbunden ist. Das Gerät umfasst auch eine Abgasmaschine, die Steuerung auf die Temperatur und Strömung von Gasen, eine Temperatur-über-Limit-Alarm, und ein instrumentelles Steuerwerkzeug an einem entfernten PC angeschlossen. Abschließend ist AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ein hochentwickelter CVD-Reaktor, der zuverlässige Abscheidungsergebnisse für eine Reihe von High-Tech-Anwendungen liefert. Seine Palette von anpassbaren Funktionen ermöglicht die präzise Optimierung des Prozesses, und seine große Anzahl von Sicherheitsmerkmalen machen es zu einem sicheren und zuverlässigen Reaktor für den kommerziellen Einsatz.
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