Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9351090 zu verkaufen
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ID: 9351090
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2019
Systems, 12"
Process: Metal
2019 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein vielseitiger Reaktor zur Durchführung von Plasmaprozessen mit dynamischer Kontrolle der Plasmabetriebsbedingungen. Dieser Reaktor ist eine All-in-One-Plasmabearbeitungsanlage, die die Funktionalität einer Vakuumpumpe, -stufe und -quelle für eine vollständige Ätz- oder Abscheidungstechnologie kombiniert. AKT Endura II umfasst mehrere Schutz- und Steuerungssysteme, mit denen der Anwender seinen Prozess zuverlässig mit mehr Sicherheit, Wiederholbarkeit, Prozesskontrolle und Präzision ausführen kann. AMAT Endura II verfügt über ein Sechs-Kathoden-System einer hochwertigen gasdichten Edelstahl-Vakuumkammer mit einem Basisdruck von 1 x 10-7mbar. Die Kammer ist auch mit einer innovativen Vakuumpumpen-Verzerrungssteuerung ausgestattet, die die Vakuumintegrität auch bei einer Änderung der Pumpendrehzahl aufrechterhält. Dies ist besonders nützlich für Prozesse, die einen hohen Durchsatz erfordern. Darüber hinaus ermöglicht die Ablage-Waferstufe mit ihrer maximalen Belastung von 44kg eine Vielzahl von Waferbeladungskonfigurationen. Endura II verfügt zudem über einen HF-Generator mit Frequenz bis 160MHz und einer Gesamtleistung von 300 Watt. Dieser Generator bietet dem Benutzer die Möglichkeit, Hochleistungsbehandlungen wie CVD, PECVD und RIE durchzuführen. Es ist auch mit einem fortschrittlichen Feedforward-Controller mit erweiterten Überwachungs- und Diagnosefunktionen ausgestattet. Diese Überwachungsmaschine ermöglicht es dem Benutzer, seine Plasmaparameter mit größerer Genauigkeit und Präzision einzustellen und beizubehalten. Darüber hinaus enthält der Reaktor APPLIED MATERIALS Endura II ein Hochfrequenzanpassungsnetz sowie eine externe Spannungsübertragungsfunktion. Diese Funktionen bieten dem Anwender die Möglichkeit, das Plasma-Labor für verschiedene Prozessentwicklungsaktivitäten anzupassen. Darüber hinaus ist der Reaktor mit einem hochmodernen Benutzeroberflächentool integriert, mit dem der Benutzer seine Arbeitsrezepte schnell anpassen und anpassen kann, um die Plasmaproduktion zu verbessern. AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reaktor wird mit der kompletten Auswahl an fortschrittlichen Funktionen und Fähigkeiten gebaut und verfeinert, die es anspruchsvollen Anwendern ermöglichen, eine breite Palette von Plasmabehandlungen zu erkunden. Der Anwender von AKT Endura II kann die Vorteile der innovativen Technologie und dynamischen Steuerung des Reaktors nutzen, um die höchste Auflösung und Wiederholbarkeit zu erreichen.
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