Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358610 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9358610
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
System, 12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein produktionsfertiger Reaktor für Niederdruck-Prozesse der chemischen Dampfabscheidung (LPCVD). Es ist mit einer hochpräzisen, niedrig induktiven Filamentstromversorgung, automatischer Suszeptor-Höhenanpassung, geräuscharmer Lagerbaugruppe, patentierter Prozesskammerarchitektur und hoher Abscheidungsgleichförmigkeit ausgestattet. AKT Endura II nutzt eine patentierte Kammerarchitektur mit einer optimierten Prozessform, um die Gleichmäßigkeit des Gasflusses zu maximieren und die thermische Gleichmäßigkeit, die Wiederholbarkeit des Prozesses und die Prozessstabilität zu verbessern. Die Stromversorgung mit niedriger Induktivität soll elektrisches Rauschen reduzieren, was eine mögliche Verschmutzung des Prozesses minimiert und zu höherer Ausbeute und verbesserter Qualität führt. Die automatisierte Suszeptor-Höhenverstellung ermöglicht eine präzise, wiederholbare Wafer-Positionierung, wodurch die Lot-to-Lot-Variation der Foliendicke reduziert wird. Die geräuscharme Lagerbaugruppe unterstützt die Aufrechterhaltung konsistenter Umgebungen, bietet wiederholbare Prozesse und verbesserte Prozessqualität. AMAT Endura II ist ein hochgradig anpassungsfähiges System mit Eigenschaften wie Quarzwiderstandsabnahmestelle, HCl-Regelventil und bis zu drei rotierenden Gasventilen. Es verfügt über ein breites Betriebsfenster mit Temperaturen und Drücken und verfügt über Standard-Dual-RF-Leistungsmerkmale. Die leistungsstarke EasyCenturion-Software bietet automatisierte Prozessrezepte, die schnell zwischen Systemen übertragen werden können und eine Remote-Prozessüberwachung und Prozesssteuerung ermöglichen. Die Gesamtleistung und Zuverlässigkeit von Endura II macht es zu einer großen Wahl für LPCVD-Prozesse. Es ist ein ideales Werkzeug für Produktionsprozesse, die eine hohe Wiederholbarkeit und hohe Gleichmäßigkeit erfordern, wie die Abscheidung von Siliziumnitrid oder Polysilizium. Die leistungsstarke EasyCenturion-Software macht sie auch zu einer guten Wahl für forschungsbasierte Anwendungen, die ein schnelles Prototyping neuer Prozesse und einen schnellen Transfer zwischen verschiedenen Reaktoren ermöglichen.
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