Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358618 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9358618
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
System, 12" 2007 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reaktor ist ein hochzuverlässiges, industrielles Abscheidungswerkzeug, das in fortschrittlichen Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird. Dieser Reaktor ist bekannt für seine robuste Bauweise, Vibrationstoleranz und lange Lebensdauer. Der AKT Endura II Reaktor besteht aus mehreren Komponenten: einer Basiskammer, einem Lastsperrmechanismus, einem Gasverteilungssystem, einer Ionenquelle, einem Target und einer Plasmaquelle. Die Basiskammer ist aus zwei Teilen aufgebaut, einem Zentralkörper und einer abnehmbaren Abdeckung - die alle aus Aluminium besteht. Der Deckel hält alle Bauteile zusammen und ist mit vier Schnellspannern verschlossen, während der Zentralkörper dem atmosphärischen Druck standhalten kann. Die Kammer enthält auch mehrere Edelstahlanschlüsse für Druck-, Strom- und Gaszuführleitungen. An der Außenseite der Kammer angeordnete Vakuumpumpen ermöglichen eine Druckregelung innerhalb der Kammer. Der Verriegelungsmechanismus bietet einen nicht dichtenden, beheizten Eingang in die Kammer. Das Loadlock hat zwei Teile: eine Eingangstür und eine Ausgangstür. Die Eingangstür soll Verunreinigungen heraushalten, während die Ausgangstür ein Entweichen von Hochdruck aus der Kammer verhindert. Das Gasverteilungssystem besteht aus zwei Teilen: der Gasleitung und der Gasmasse. Die Gasleitung ist dazu ausgelegt, die Durchflussmenge jedes Gases zu regeln und den Druck innerhalb der Kammer zu messen. Die Gasmasse ist eine Reihe von Rohren, die das Gas zu seinem Ziel innerhalb der Kammer leiten. Die Ionenquelle ist dazu ausgelegt, geladene Partikel in die Abscheidekammer einzubringen. Dies wird durch Anlegen eines elektrischen Feldes erreicht, wodurch die Partikel aus der Quelle ausgestoßen werden und sich auf das Ziel zubewegen. Ziel ist das Werkstück, das innerhalb der Kammer platziert wird. Dies ist in der Regel ein Substrat, wie ein Siliziumwafer. Während des Abscheidungsprozesses wird das Ziel mit Ionen und abgelagertem Material beschossen. Die Plasmaquelle ist für die Erregung der Partikel und die Erleichterung der Abscheidung verantwortlich. Diese Quelle erzeugt mit hochfrequenten elektrischen Wellen ein Plasma, das dann in die Kammer geleitet wird. Insgesamt ist der AMAT/AMAT Endura II Reaktor ein leistungsfähiges, zuverlässiges und einfach zu bedienendes Werkzeug für die Halbleiterherstellung. Die vielen Komponenten des Systems wurden mit Blick auf Langlebigkeit und Effizienz konzipiert und bieten Anwendern einen kostengünstigen und zuverlässigen Abscheideprozess.
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